上から下に向けてセンサを設置するだけでウエハの飛び出しを検出することが可能です。リフレクタの設置もいらないため、座繰りを入れる必要もありません。背景チューニング(LR-ZHの機能)であれば透明フィルムの残量も検出できます。背景がない場合はリフレクタとの組み合わせで検出します。カタログで詳しく見るまとめ本章では、レーザセンサの中でも受光量判別型についてその概要から種類・特徴、レーザセンサならではのトラブル対策を詳しく紹介してきました。まとめると以下の通りです。・光軸合わせや検出位置の特定が容易なため、検出ミスを防ぐ事前対策が大切センサにはこの他にもさまざまな種類があり、それらの特徴を知って正しく選定することが大切です。本章に記載した内容や、他の章でも紹介しているセンサの特徴を1冊にまとめた資料は、下記よりダウンロードしていただけます。ラインナップカタログと併せてご覧ください。商品については、こちらをご覧ください。Reserved.tcm:106-1750398-64。