歩み1958年7月12日に、真空科学と技術の学術的な研究をしてきた真空技術研究会と、真空関係の規格標準確立と真空工業の普及啓発を目的としていた真空機器協会とが合併し、真空協会として設立。母体となった両団体には、もともと大学・研究所の研究者や技術者といった個人会員と、メーカー・ユーザーを問わず真空に関心を持つ企業の法人会員がいたことから、真空学会は個人会員と法人会員とで構成されることとなった。京都で開催するにあたり、1971年2月6日に日本真空協会と改称。2008年12月、新しい公益法人制度が施行されたのを機に一般社団法人へと移行。