ダウンロード特長ADコートは一般的なフッ素樹脂コートの特性に加えて3つの特長を持っています。デポ物やダストの離型性に優れ、洗浄やメンテナンス作業が容易にできます。酸・アルカリ・溶剤に対して優れた耐久性を持っています。260°Cまでの広い温度範囲で使用できます。新開発“低アウトガス樹脂”高純度フッ素樹脂の採用と得意な施工技術の開発により、初めて半導体製造プロセスでの利用が可能になりました。優れた耐蝕性と耐プラズマ性ハロゲン系のエッチングガスやクリーニングガスに加えて高密度プラズマに対する耐久性も多くのユーザーに高く評価されています。半導体装置に用いられている細管,フレキ管はもとより、多様な形状の管材にコーティングすることができます。優れた施工性コーティング例ADコートは種々の形状や素材にコーティングできます。ダストの堆積が無くなり、閉塞しなくなった。ウエハーの離型性が良くなった。1年以上ダメージ無し。パーティクトル汚染も少なくなった。デポ物の堆積が無くなり、閉塞しなくなった。フレキ管の腐蝕が無くなった。デポ物による閉塞トラブルが無くなった。茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。関連技術情報3件を掲載しました。