交通アクセス(東京都港区芝公園3-5-8)プログラムLEDやフォトダイオード、太陽電池などソリッドステートの発光・受光デバイスは、既に私たちの暮らしになくてはならないものになっています。当初これらのデバイスの発光層やパッシベーション層の作製にはCVDが用いられてきましたが、大面積化やコストの要求から、スパッタプロセス・プラズマプロセスの適用例も多く見られるようになってきました。今回の研究会では、スパッタやALDプロセスに様々な工夫をこらし、これらの物性改善に繋げた例を紹介いただきます。会の冒頭では、2019年度SP部会賞の授賞式ならびに記念講演も実施します。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。申込方法こちらの申し込みページからお申込みください。※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。※なるべくお釣りのないようご準備ください。