学会賞を贈呈しています。本会における学術的かつ継続的な活動を通じて表面科学および真空科学とその産業利用の進歩発展に顕著な業績をあげた個人会員に対し,日本表面真空学会フェローの称号を授与し,本会を代表する会員としてリーダーシップの発揮を奨励します。つきましては、候補者の推薦を会員の皆様から広く募集いたします。下記により、奮ってご応募下さい。学会賞規程・フェロー規程および過去の受賞者については学会ホームページをご覧下さい。代表論文3編の別刷り(コピー可)上記1~4を、各7部ご提出下さい。業績リスト上記1~3を、各7部ご提出下さい。