サービスは、お客様の「ものづくり」の未来を切り開きます。概要FIB法とはGaイオン源からの収束イオンビームを利用して、TEM(透過型電子顕微鏡)観察サンプルを製作する方法です。走査型のイオン顕微鏡として試料表面形状を観察する。薄膜原料ガスを試料表面に吹き付けながらイオンビームを照射することで、指定の箇所のみに薄膜を形成するデポジション加工を行う(FIB加工時の保護膜として)。試料表面にイオンビームを照射し、局所的なスパッタエッチング加工を行う。特定の場所の薄片加工が短時間で行えることが最大の特徴で、LSI分野を中心に急速に広まった技術です。