半導体は高い精度が要求されるため、その製造工程で使われる器具にも高い品質が要求されます。酸化膜形成)工程や拡散工程などでは、さまざまな石英および合成石英製品が利用されています。各種石英管(アウター/インナー/リアクター/ダブルチュービング/EP用サセプター等)、ボート、キャップ等をご提供いたします。迅速な製造工程が求められる中、私たちが培ってきたクリーニング技術によって、コンタミネーションを最小限に抑えた高品質の石英製品でマーケットのニーズにお応えして参ります。先端の工程技術と厳格な品質管理によって生産されたエッチング、アッシング用ベルジャーや、ランプアニール用チャンバーも取り揃えております。