固着したスラリーによる超微粒子皮膜を簡単に除去します。スラリークリーンはお客様の次の様な問題を解消します。-SMPスラリーがCMP装置及びその周辺を汚染している。洗浄作業時発生するシリ力等微粒子の作業者への健康障害が間題となっている。固着したスラリーの洗浄に多くのコスト(労力,時間)が掛かっている。優れた洗浄性SMPスラリー固着物を簡単に除去します。被洗体に塗布の後、スポンジ等でこするだけで除去できます。強アルカリを使用していないので金属や合成樹脂を侵しません。ウェハー汚染に影響のあるナトリウム等のアルカリ金属成分を含みません。毒物,劇物,危険物に該当しません。人体には家庭用洗剤レベルの優しさです。納入仕様書をご参照下さい。茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。関連技術情報3件を掲載しました。