[0001]【発明の属する技術分野】本発明はサーマルプリントヘッドに関する。[0002]【従来の技術】サーマルプリントヘッドを使用したプリンターは機構が簡単で騒音が無く、また記録素子である発熱素子を多数有するものが簡単に製造できることから、一度の記録範囲が大きくすることが可能なため、高速印字を可能とし、業務用に広く用いられている。プリンターを小型・軽量にすることが可能なため携帯用にもその用途が広がっている。lightweight.【0003】サーマルプリントヘッドは、一般的に、板厚1mm程度のセラミック基板の一方の面の全面あるいは発熱体近傍部に、厚さ0.05mm程度のガラスをグレーズしたものを基板として使用している。この基板に発熱素子、電極及び保護膜を形成してサーマルプリントヘッドを構成する。発熱素子、電極及び保護膜の形成技術には2つの方法があり、その1つが厚膜技術によるもので、他の1つは薄膜技術によるものである。technology.【0004】近年、プリンターの需要が増え、特に個人向けのカラープリンターの市場の伸びが著しい。この分野の特徴として、印字品質の要求が高くかつ低価格の製品がが要求される。デジタルカメラの普及に伴って、デジタル写真のハードコピー用のプリンターとして、より小型低価格でかつ高印字品質のカラープリンターの開発が望まれている。desired.【0005】図3は厚膜技術にて製作された従来のサーマルプリントヘッドの構造の一例を示す断面図である。42をグレーズした2層構造の基板とし、ガラス42の上に導体ペーストをスクリーン印刷して焼成をおこなった後、フォトエッチング法によりパターニングをおこない配線電極43を形成している。printingを形成している。a.【0006】このようにして厚膜のサーマルプリントヘッドを製造しており、薄膜技術に比較して高額な着膜装置等を必要としないため、比較的安価にサーマルプリントヘッドを生産できるという利点がある。その反面、性能面で薄膜技術で製造されたものに比べていくつかの問題があり、高印字品質が要求される画像などの用途には採用されていない。required.【0007】図4は、図3のサーマルプリントヘッドの配線電極と発熱体の配置を示す部分拡大平面図である。43aと、共通電極の各櫛歯の間に1本ずつ配置された複数の個別電極43bから成り、発熱体44はこれらの各電極上に跨るように重ねて配置されている。44,共通電極43aの各櫛歯に挟まれた部分が1つの単位発熱素子に相当し、複数の単位発熱素子が直線状に連続して配置され、一体の発熱体44を構成している。1つの個別電極に対し2つの共通電極が挟む形で配列されているので、各単位発熱素子も連続した2つの抵抗体から構成されることとなり、電気的に並列接続となっている。parallel.このため、1つの個別電極に通電して1つの単位発熱素子に電流を流すと、隣り合った2つの抵抗体が同時に発熱し、印字すると実際には隣接した2つのドットが発色する。head,発熱体の各単位発熱素子の抵抗値のばらつきが印字濃度のばらつきとなり、印字品質の低下の原因となっている。この対策として、従来、発熱体である抵抗体のトリミングをおこない、各単位発熱素子の抵抗値を揃えることにより印字濃度の均一化を実現している。厚膜サーマルプリントヘッドにおいては、一般的に、発熱素子に高電圧パルスを印加すると抵抗値が下がることを利用してトリミングをおこなっている。aligned,1つの発熱素子中の2つの抵抗体の抵抗値は不揃いになることがある。このため、1素子の印字で発色する2つのドットの大きさに差が出るという問題が生じている。occurred.【0009】図5は図3のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。従来、厚膜技術により製造されたサーマルプリントヘッドは、電極用厚膜ペーストをスクリーン印刷した後、焼成をおこない配線電極43を形成する。配線電極の上に熱的に安定した抵抗体の厚膜ペーストを印刷し、約800°Cで焼成して発熱体44を形成している。弱に対し、発熱体44の厚さは10μ程度と厚く、焼成時に発熱体44の表面に数μ程度の凹凸状のばらつきが生じる。この影響によって、発熱体の上に厚膜技術で形成した保護膜45の表面にも凹凸状のばらつきが生じることとなる。このため熱伝導にばらつきが生じ、印字濃度のムラとなり印字品質の低下をもたらしている。[0010]【発明が解決しようとする課題】薄膜技術によるサーマルプリントヘッドでは、単位発熱素子は1つの抵抗体で構成されているため、トリミングされたものはすべての発熱素子の抵抗値が均一化されている。薄膜であるため発熱素子の厚みも小さく、発熱体表面の平坦性に優れるので、印字媒体への熱伝導にばらつきが無く高品位の印字が可能である。薄膜技術によるプリントヘッドは製造費用が高くなるため、プリンター自体の価格も高価なものとなるので、民生用・家庭用プリンターとしては普及が進んでいない。printer.【0011】本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたもので、民生用・家庭用カラープリンターに使用するサーマルプリントヘッドであって、薄膜技術と厚膜技術を併用することによって、低価格を維持しかつ印字品質に優れたサーマルプリントヘッドを提供することを技術的課題とする。[0012]【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明のサーマルプリントヘッドは、セラミック基板の一方の面にガラスをグレーズした2層構造の薄板基板であって、その製造の第1工程において前記ガラス層の上面に薄膜技術によって複数の発熱素子を形成し、第2工程において前記発熱素子の上部に厚膜技術によって配線電極を形成し、さらに第3工程において前記発熱素子と前記配線電極の上部に厚膜技術によって保護膜を形成する手段を講じたものである。[0013]【発明の実施の形態】本発明のサーマルプリントヘッドは、セラミック基板の一方の面の全面あるいは発熱素子を形成する部位のみガラスをグレーズして2層構造とした薄板基板を使用し、ガラス層の上面に薄膜技術により複数の発熱素子を設け、さらに、発熱素子の上に厚膜技術により配線電極として共通端子及び個別端子を配設し、さらに、厚膜技術により発熱素子及び配線電極を覆うように保護膜を形成したものである。film,かつ各単位発熱素子を分離して高密度に配置することができる。次に第2工程として、発熱素子の上部に厚膜技術によって配線電極を形成すると、発熱素子は薄い抵抗膜であるので、容易に発熱素子の上に配線電極を配設することができる。配線電極は導体ペーストを使用してスクリーン印刷することから、厚膜といえども比較的厚さを薄くすることができるので、配線電極の表面は平坦なものとなる。次に第3工程として、発熱体と配線電極の上部に発熱体を覆うように厚膜技術によって保護膜を形成すると、保護膜の表面も平坦なものとなる。[0015]【実施例】本発明の代表的な実施例について、図面を参照して説明する。substrate,発熱体として薄膜技術により抵抗膜を形成し、その後配線電極及び保護膜を厚膜技術により形成して製作したサーマルプリントヘッドの構造の一例を示す断面図である。256dpi、発熱素子数が512である。512.【0016】図1において、板厚約1mmのセラミック基板41の上面にガラス42を厚さ約0.05mmにグレーズしたものをプリントヘッドの基板としている。以下、このプリントヘッドの製造方法を第1工程から順を追って説明する。4212個の発熱素子51を形成するためにタンタル系の薄膜抵抗をスパッタにて着膜する。着膜後、フォトレジスト法にてパターニングし、512個の単位発熱素子群に整形する。groups.第2工程では、ガラス42上の各発熱素子51の上部に導体ペーストをスクリーン印刷により塗布し、フォトエッチング法にてパターンを作成した後約800°Cで焼結して配線電極(共通端子52a及び個別端子52b)を形成する。第3工程では、発熱素子及び配線電極の上部にガラスペーストをスクリーン印刷し、約600°Cで燒結して厚み約5μの保護膜を形成する。[mu].【0017】図2Aは、図1のサーマルプリントヘッドの発熱体及び配線電極の配置パターンを上から見た一部拡大平面図である。4A)と異なり、本実施例の発熱体は1素子づつ分離しており、また、配線電極の共通端子と個別端子は単位発熱素子毎に一対の対向電極となっているため、1ドットの発熱体(単位発熱素子)は1つの抵抗体から成っている。uniform,印字された発熱ドットの大きさも一様なものが得られることとなる。図2Bは、図2Aの発熱素子及び配線電極の電気接続を示す回路図である。element)から成ることが一目瞭然である。obvious.【0018】発熱素子の抵抗膜は、薄膜技術により製造されるため、厚さは0.01μ程度と薄くまた表面は平坦である。発熱素子の上部に厚膜技術により形成した配線電極の厚さは約1μ弱で平坦性がよい。従って、発熱体を覆う厚さ約5μ程度の保護膜を形成しても、厚膜技術により発熱体を形成した従来のサーマルプリントヘッドの発熱体表面の凹凸差が数μ程度あるのに比較して、極めて表面の平坦性の良いプリントヘッドを実現している。surface.【0019】上記実施例では、保護膜として厚膜技術によるガラスのみとしたが、印字媒体として紙以外のカード用途等に使用する場合、保護膜の強度が要求される分野用として、ガラスの上に薄膜技術にて窒化珪素等の硬い膜を積層することにより保護膜の強度を上げることが可能である。technology.【0020】また、上記実施例では2層構造の薄板基板としてガラスグレーズ基板を使用したものを説明したが、第2工程において500°C程度の焼結温度の厚膜材料を選定すれば1層のガラス基板でも実現が可能である。dot,高精細な印字が可能である。第1工程で発熱素子を薄膜技術により形成することにより、第2〜3工程において薄膜の発熱体の上に厚膜技術による配線電極及び保護膜の形成が容易となり、その結果、プリントヘッド表面の平坦性がよく、印字媒体への熱伝導が一様になるため、印字濃度のばらつきが無い高品位の印字が可能である。本発明によれば、薄膜技術の性能面での優位性と、厚膜技術のコスト面での優位性を両立させることができるため、高精細高品位の印字を低価格のサーマルプリントヘッドで実現でき、このサーマルプリントヘッドを搭載した低価格な高印字品質のプリンターを提供できる。DRAWINGS【図1】本発明のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。invention.【図2】A...図1の発熱体と配線電極の配置パターンを示す部分拡大平面図である。B...図2Aの発熱素子と配線電極の電気接続を示す回路図である。2A.【図3】従来のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。printhead.【図4】A...図3の発熱体と配線電極の配置パターンを示す部分拡大平面図である。B...図4Aの発熱素子と配線電極の電気接続を示す回路図である。4A.【図5】従来のサーマルプリントヘッドの構造を示す断面図である。second工程の後に発熱素子(51)と配線電極(52)の上部に厚膜技術によって保護膜(53)を形成する第3工程とから成ることを特徴とするサーマルプリントヘッドの製造方法。(52)及び保護膜(53)を形成したことを特徴とするサーマルプリントヘッド。