設備メンテナンススラリークリーンやスラリーチューブ洗浄剤などの洗浄剤、および新開発フッ素樹脂コーティング技術であるADコートなど、半導体設備のメンテナンスに関しても対応しています。固着したスラリーによる超微粒子皮膜を簡単に除去します。CMPスラリーチューブ洗浄剤YS-200YS-200は、CMPスラリーのチューブ内の堆積物を分散剤とビーズの作用で効率良く除去します。YS-200は、酸やアルカリによる従来の薬液洗浄に比べて、短時間で洗浄を完了します。ADコートは、一般的なフッ素樹脂コートの特性に加えてさらに優れた特長を有し、種々の形状や素材にコーティングできます。茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。関連技術情報3件を掲載しました。