外部からの振動が測定に与える影響を軽減しています。10nm程度の分解能で針先の位置を確認することができます。条件を実現することができます。やぶることなく用意に行うことが可能です。顕微鏡の制御はSEM用とSTM用の2つのPCから行われます。STM制御装置は4つのプリアンプ、1台のPCに差し込まれた4枚のDSPカード、4つの高電圧アンプユニットからなっていて、4本の探針を1台のPCから制御することが可能です。SEMによるSTM探針観察SEM観察下でのSTM探針操作の様子です。互いに〜100nm程度まで近づけることが容易にできます。精度を持っていることが確認できました。デバイス構造などに応用していくことを目標に、研究を進めています。reserved.https://dora.bk.tsukuba.ac.jp/。