古代の神話には、自律的に動く人型の人工物がいくつか登場する(ゴーレムやピグマリオン、タロースなど多数)。紀元前4世紀、アルキタスは鳩型の空飛ぶ機械を製作したとも言われている。紀元前4世紀、アリストテレスはオートマタによって人間の奴隷を廃止できる可能性について議論したとされる。紀元前4世紀、「列子」に人型の機械人形を作成した人物に関する記述がある。「韓非子」にも空飛ぶ鳥型の人形の記述がある。紀元前3世紀、クテシビオスは人形が周りを回る水時計を作製した。アレクサンドリアのヘロンやビザンチウムのフィロンは様々な自動機械の仕組みを発明した。1088年、機械学者の蘇頌は人形が数時間ごとにチャイムを鳴らす大時計を作成した[7][8]。12世紀、機械工学者のジャザリーは飲み物を給仕するものや、楽器を演奏するものを作製した。人間そっくりの生物的ロボットと言えるものの記述が登場し、これが日本のロボット史の最初とされる[3]が、これは人骨を集めて作った人形に魂を宿す魔術によって蘇るという話でありロボットと言えるのか意見の分かれるところである。12世紀、アルベルトゥス・マグヌスがアンドロイドを作ったと記録されている。Artoisは数々の人型、動物型の機械人形を作製した。1495年、レオナルド・ダヴィンチが現代で言えばヒューマノイドとして捉えられる、詳細な設計図も含んだ一群のスケッチを作成する(ダヴィンチのロボット)。1533年、レギオモンタヌスは鷲型の空飛ぶ機械を製作した[9]。ジョン・ディーは空飛ぶカブトムシの機械を製作した。1622年、からくり人形の竹田座が大阪に開業(1768年まで)[3]。1739年、ジャック・ド・ヴォーカンソンがアヒルを模したオートマトンを開発する。1770年、「トルコ人」と呼ばれたチェスを指すオートマタと詐称した物が作製される。1773年、ピエール・ジャケ・ドローによる文字を書く人形が作製される。1796年、細川半蔵が茶運人形などの構造を図解した「機巧図彙」(からくりずい、きこうずい)を著す。1886年、ヴィリエ・ド・リラダンが「未来のイヴ」という小説でアンドロイドという語を初めて使ったとされる。1921年、カレル・チャペックが「ロボット」の造語を使用し、その概念が広まった。1926年、ウェスティングハウス・エレクトリックが電話で送った信号によりリレーを操作する機械(人間が発した言葉に応答した人類史上初の機械である)「テレヴォックス」(Televox)を開発する。のち(1927年にニューヨークで開催された世界博覧会に展示される折)に筐体表面に人型に切り抜いた板を貼り付けたことで、これが人型ロボット第一号とみなされてしまうこともある。1927年、アンドロイドが登場する有名な映画「メトロポリス」が放映される。1928年、世界初のヒューマノイドとされる「Eric(エリック)」が作製される。1928年、日本初のロボット[3]と認識されている「學天則」(がくてんそく)を、生物学者の西村真琴が製作した。その後、翻訳上演された外国演劇にロボットが登場したことをきっかけに関心が高まるも、第二次大戦勃発により日本のロボット開発は中断する[3]。1947年9月25日、アメリカ空軍のC-54輸送機がオートパイロットで大西洋を渡り、イングランドへの着陸に成功する。Elsie」と呼ばれる初期の自律式ロボットを作成する。1950年、SF作家のアイザック・アシモフが、『われはロボット』作中でロボット工学三原則を発表、人間との共存に関する議論の的となる。1950年、手塚治虫が漫画『鉄腕アトム』発表[3]。1961年、アメリカのジョージ・デボルが世界初の実用的産業用ロボットである「ユニメート」を発売した。ゼネラルモーターズの工場に納入され、ダイカスト作業に投入された[10]。1963年、日本初のTVアニメ「鉄腕アトム」が人気となり、劇中のロボット「アトム」は、のちの日本でのロボット開発において一つの目標となる。1969年、川崎重工がユニメートのライセンス生産を開始する[11]。開催され、ロボットを中心にしたパビリオン「フジパンロボット館」が出展された。1970年代末、日本の多くの企業が産業用ロボット市場に進出する。1980年代、自動車などの生産ラインに、溶接や部品の組み付けなどの作業を行う産業用ロボットが導入され始める。同時期、マイコン制御による自律自走式のマイクロマウス競技が流行し、様々な企業や個人が、優れた迷路脱出能力をもつものを開発・発表する。アメリカ等の国々で、マイコン制御の家庭用ロボットが複数市販された。これらはROMチップに焼き付けたプログラムをStepByStepで実行する関係で扱いが難しく、また高価であることからあまり普及しなかったものの消費者の関心を集めた。そのブームに乗り、パソコンやゲーム機で制御する(人形やフィギュアとは別の意味の)「ロボット玩具」が普及し、テレビアニメ等で様々なロボット物の番組が提供された。(つくば科学博)が開催され、「芙蓉ロボットシアター」などで様々な種類が展示された。1996年、単体で完全な二足歩行を行う人型ロボット「P2」を本田技研工業が発表する。1999年、ソニーが犬型ロボット「AIBO」を発売して人気となり、家庭用エンターテイメントロボットという市場が生まれた。2000年、本田技研工業がASIMOを開発。2002年2月4日、ロボット競技ROBO-ONE第一回大会が東京で開催。二足歩行ロボット研究が個人レベルにまで浸透する。2004年3月18日、コンピュータ操作の無人自動車によるレース「DARPAグランド・チャレンジ」がアメリカ国防総省によってモハベ砂漠で開催。参加車両15台中、240kmを完走した車両は出なかったが、翌年10月の第二回大会では参加車両23台のうち5台が212kmを完走した。ロボットが発表され、展示だけでなく会場案内や楽器演奏、ミュージカル出演など活躍。2008年、ロボットスーツHAL製品化。2017年、香港のハンソン・ロボティクス(英語版)の人型ロボット「ソフィア(英語版)」がロボットでは世界初の市民権をサウジアラビアで取得[12]、ロボットで史上初めて国連から称号を与えられる[13]。