原告は,平成22年5月28日付けの拒絶理由通知を受けたため,同年12月17日付けで本願の特許請求の範囲について手続補正(甲9の2)をしたが,平成23年8月10日付けの拒絶査定を受けた。日付けで本願の特許請求の範囲について手続補正(以下「本件補正」という。成25年4月15日,本件補正を却下した上で,「本件審判の請求は,成り立たない。」との審決(以下「本件審決」という。)をし,同年5月27日,その謄本が原告に送達された。続補正による補正後のもの)の記載は,次のとおりである(以下,同請求項1に係る発明を「本願発明」という。合され得ることを特徴とする装置。下,同請求項1に係る発明を「本願補正発明」という。件補正による補正箇所である。合され得ること,および,各モジュールは,振動絶縁部,又は,位置制御されるプラットフォーム上に配置されていることを特徴とする装置。本件審決の理由は,別紙審決書(写し)記載のとおりである。要するに,本願補正発明は,本願の優先日(優先権主張日)前に頒布された刊行物である国際公開第01/80289号(原文甲3・訳文乙1。以下「刊行物1」という。法律第55号による改正前の特許法17条の2第5項において準用する同法126条5項の規定に違反するものであるとして,本件補正を却下した上で,本願発明も,同様に,刊行物1に記載された発明及び周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから,特許を受けることができず,他の請求項に係る発明について検討するまでもなく,本願は拒絶されるべきものであるというものである。本件審決が認定した刊行物1に記載された発明(以下「引用発明」という。,)本願補正発明と引用発明の一致点及び相違点は,以下のとおりである。基板容器インターフェース,基板整列用のステーション及び測定装置を備える2個以上の測定室を有するモジュール式基板測定システムにおいて,基板移送手段は,基板を,基板容器インターフェース中に設けられた基板容器から任意の測定室に移送することができ,測定室は標準化された寸法を有する直方体であり,他の測定室に置換可能とするとともに機械式支持区域に支持され,さらに,複数の測定室が互いに平行に基板操作室に対して接続された,モジュール式基板測定システム。置において,ハンドリングシステム,基板マガジンステーション及び整合ステーションに互いに作用的に接合されている少なくとも2つの検査機が提供されている,装置」である点。本願補正発明と引用発明の相違点(相違点1)本願補正発明の装置が,各検査機は独立したモジュールとして構成され,各モジュールは同じサイズの格子寸法であり,各モジュールは互いに接合され得るのに対し,引用発明のモジュール式基板測定システムは,測定室が標準化された寸法を有する直方体であり,他の測定室に置換可能とされているものの,機械式支持区域に支持され,個々の測定室は互いに接合され得るとは特定されていない点。(相違点2)本願補正発明の装置が,各モジュールは,振動絶縁部,又は,位置制御されるプラットフォーム上に配置されているのに対し,引用発明のモジュール式基板測定システムは,振動を絶縁する手段を備えるとは特定されていない点。供されている,装置」である点で一致すると認定した部分は,以下のとおり誤りである。本願補正発明の「基板を検査する装置」は,例えば,基板に接触するプローブを備えた「検査装置」である。装置により測定を行うこと,半導体ウェハーが完成した後にプローブを備える基盤検査装置(プローブ検査装置)により電気的検査を行うこと(例えば,乙4)は,いずれも技術常識である。上記技術常識に照らすと,本願補正発明の「基板を検査する装置」は,単に基板を測定するだけの「基板測定装置」とは異なるものである。一方で,刊行物1(甲3)には,「基板測定装置」の測定用モジュールが記載されている。刊行物3には,この測定用モジュールを「基盤検査装置」の検査用モジュールに置き換え得ることについては記載も示唆もない。審決が認定した本願補正発明と引用発明の一致点のうち,「基板を検査する装置」,「検査機を有する装置」及び「少なくとも2つの検査機が提供されている,装置」である点で一致すると認定した部分も誤りである。以上のとおり,本件審決は,本願補正発明と引用発明との一致点の認定を誤り,相違点を看過したことにより,本願補正発明が独立特許要件を満たさないとして本件補正を却下した判断の誤りがある。相違点を2つに分離して認定及び判断したことの誤り本願補正発明の各モジュールは,互いに接合されるからこそ,接合された各モジュールに合成された振動が生じ,その合成された振動を防ぐために,接合された各モジュールは,その接合された各モジュールに対応する振動絶縁部上又はその接合された各モジュールに対応する位置制御されるプラットフォーム上に配置されるものであり,「各モジュールは,互いに接合され得る」ことと「各モジュールは,振動絶縁部,又は,位置制御されるプラットフォーム上に配置されている」ことは,互いに不可分な関係を持つ一つのまとまった技術的事項であり,2つに分離することはできない。本件補正後の特許請求の範囲の請求項5の「各モジュールは,その他のモジュールから独立したプラットフォーム上に配置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。願補正発明には,「各モジュールは,その他のモジュールから独立したプラットフォーム上に配置されている」もののほかに,「各モジュールは,ただ一つのプラットフォーム上に配置されている」ものも含まれると解すべきである。的事項を有機的に結合した分離不可能な一体のものとして把握する必要性がなおのこと生じるといえる。すると,本件審決が上記技術的事項を2つに分離し,本願補正発明と引用発明との相違点を相違点1及び相違点2の2つに分離して認定したことは誤りである。昭61-168236号公報(以下「刊行物2」という。性を単独で判断した本件審決の判断手法は誤りである。絶縁部上又はその接合された各モジュールに対応する位置制御されるプラットフォーム上に配置されることについての記載はないから,刊行物2から上記の配置が周知であるとはいえない。者が考え得るような通常の事項ではない。送する共通する基板搬送室に対して連結するような場合,装置全体の設置スペースを低減するために,処理室間の隙間を無くして接合し得るように配置すること」は,本願の優先権主張日前に頒布された刊行物である特開2000-183129号公報(以下「刊行物3」という。法のように,平行に配置された同一寸法のモジュール間の隙間をできる限り減らして,互いに接合され得るように配置することは,当業者が容易に想到し得たものである旨判断したことは,以下のとおり誤りである。甲12)の段落【0017】に記載されているように,「各モジュールが同じ基本格子設計であり,各モジュールが互いに接合していること」から「一区画が,構成ブロック原理にしたがって構成され得る。