Code:A1Abstract:可動端子が設けられた可撓レバーのレバー主層に半導体材料を用いた場合でもアイソレーションの悪化を極力抑制できるMEMSスイッチを提供する。MEMSスイッチ10-1は、両信号層16及び17が導通していない状態において、可撓レバーFLのレバー主層13bと第1固定端子16aとの間に形成される寄生容量、並びに、可撓レバーFLのレバー主層13bと第2固定端子17aとの間に形成される寄生容量を抑制するための、寄生容量抑制部RPC11、RPC12及びRPC13を備える。