高圧流体を扱う高圧装置や超臨界装置を設計・製造します。記1:プロセスガスに接触している部材は、耐食性がある金属で加工されています。記2:キャビティの加工精度を±0.0025加工管理することにより、ダイアフラムの長い耐用時間を実現しました。記3:三重構造のダイアフラムにより、ガスに汚染されない圧縮を保証し、ダイアフラムとダイアフラムシールからの漏れは急速に検知されます。記4:Oリングシールはガス漏れゼロを実現し、ヘッドの締め付けトルクも小さく、容易にメンテナンスを行うことが出来ます。クリーンな圧縮プロセスガスの清浄を確実なものにする為に、プロセスガスと油圧流体及び全ての油系統部品は金属ダイアフラムで完全に隔離されています。漏れのない圧縮ヘッドアセンブリにおけるOリングはプロセスガスの漏れをゼロにします。Oリング材質はプロセス流体によって使い分けします。主な材質としてブナN、テフロン、カルレッツ、アフラスなどがあり、更に、弾力性のある複合エラストマーは、耐久性を要求される場合に用いられます。耐食性プロセスヘッド及びダイアフラムの材質は主にステンレス鋼(SUS316)です。プロセスガスの種類に応じ、他の材質にも変更可能です。ダイアフラムの長い耐用時間ヘッド部キャビティ内の円弧形状は厳しい品質管理を行なっています。従いまして、ダイアフラムに無理な力がかかる事がない為、長い耐用時間を実現することができます。低い締付トルクフランジヘッドアセンビリのシーリングはOリングを使用しているため、低トルクでヘッドの締付ができ、メンテナンスの所要時間の短縮が可能です。非常に敏感な漏洩検知PPIの漏洩検出装置は、ダイアフラムやダイアフラムシールからの洩れを敏速に検知します。漏洩検出装置はヘッドアセンブリに全て内蔵されており漏れたガスはヘッドアセンブリから検出しますので環境に対してクリーンな運転が実現されます。高い効率PPIのダイアフラム式コンプレッサーは、充分にスキマ、デッドボリュームを小さくすることにより、単純で15:1までの圧縮比を得ることが出来ました。