おけるハーシュプロセスは、常に真空ポンプにとって大いなる挑戦でした。A4シリーズは、実績のある高効率多段ルーツ式技術により、排気速度100~2300m3/hのラインアップのドライポンプによる幅広い解決策をご提案します。従来のプロセスポンプに比べ、腐食と副生成物への耐性が大幅に向上し、最先端の20nm以下のテクノロジーノードへの適応が可能です。A4シリーズは、低消費電力によるプロセス寿命の延長が図れ、コストの大幅な削減が可能です。Systems社XProtectシリーズ生産拠点メンテナンスFAQ。