DLTSスペクトルLangがDLTS法を考案した1974年においては、現在のような進んだコンピュータ技術はまだありませんでした。Langらの方法におけるDLTSスペクトル測定原理を、図A-4に示しました。C(t2)を求めます。このような測定を低温→高温へ温度を変えながら連続的に行った場合、容量トランジエントは、図A-4(a)に示したように深い準位に捕獲されたキャリアの熱的活性化が開始する温度に到達すると顕著に現れますので、この温度(Tmax)においてS(T)が極大となるスペクトル(DLTSスペクトル)が得られます。t2との間には、以下のような関係が成り立ちます。なる温度がそのピーク点の温度:(Tmax)であるであることを表しています。式(A-6)で与えられる放出時定数の逆数(放出速度)は、レートウンドウと呼ばれます。