)瞬低補償装置をつけることにより、下記の影響を解消することが出来ます。瞬低(瞬時電圧低下)が発生するとウェハ、プローブカードを壊す恐れがあります。テスタ・プローバの故障を誘発する場合があります。テスタ、プローバの復旧に時間を要し、納期遅延を招きます。落雷などの自然現象により、電圧が瞬時(1秒以下)に低下したとき、一時的に負荷電圧を供給し停電を防止するための装置です。電気二重層コンデンサで蓄電し、インバータで直流を交流に変換します。環境に優しいというメリットがあります。集中した電荷により電界を緩和し、落雷を防止するシステムです。