原子間力顕微鏡モード特殊モードSTM走査型トンネル顕微鏡(STM)導電性サンプルで原子分解能を持つ1980年代にIBMで走査型トンネル顕微鏡(STM)を開発したゲルト・ビーニッヒとハインリッヒ・ローラーは、1986年にノーベル物理学賞を受賞しました。このテクニックは、その後の原子間力顕微鏡(AFM)の進歩の基盤となりました。STMは、金属探針とサンプル表面の距離により変化するトンネル電流を用いて、表面の電子状態や形状を測定する手法です。通常は、導電性表面または半導体表面の測定に用いられます。(SECPM)、導電性の低いサンプル測定用として、低電流STMがあります。