超微小漏れを測る角速度センサや赤外線イメージセンサなどのMEMS部品や小型電子部品は、長い年月にわたって製品内部の密封性を保持する必要があり、高い気密性が求められています。フクダでは、超微小漏れの測定技術として、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を開発しました。MUH-0100シリーズは、「カプセル蓄積法」を採用した超微小漏れ測定専用の気密検査装置です。series本システムは、ファインリークテスト(真空チャンバ法)、ウルトラファインリークテスト(カプセル蓄積法)により、気密検査を行う装置です。(He)台までの漏れ量の測定が可能です。※測定できる漏れ量は、ワークの種類と条件によって異なります。「カプセル蓄積法」とは(特許出願中)カプセル蓄積法は、ワーク(試験品)からの微小なヘリウムリークを検出するために、大容積の「チャンバ」の中に小容積の「カプセル」を設け、ヘリウムリーク測定を行う方法です。次の1~3の流れで、微小漏れの測定を行います。質量分析計で検出可能なレベルになるまでヘリウムを蓄積します。2「カプセル」を開き、「カプセル」内のガスを「チャンバ」内に開放します。3拡散されたヘリウムは、分子流の状態になって「絞り」を通り、質量分析計で計測されます。超微小のヘリウムリークの検出が可能ヘリウムリーク判定能力※4×10-15Pa・m3/s(He)~※蓄積時間2時間の場合。ボンビング条件、カプセルサイズ、放置時間等の試験条件に依存します。誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間やメンテナンスが通常のヘリウムリークディテクタと同等です。ヘリウム蓄積量の校正には、市販の標準リークが使用可能です。図3は、検出したいヘリウム感度(縦軸)に対応する蓄積時間(横軸)を表しています。ウルトラファインリークを計測するための留意点パッケージの材質についてパッケージや接合面の材料にガラス質が含まれる場合、ヘリウムガスの透過・付着が発生します。使用する材料にはご注意ください。許容できるヘリウムガスの透過・付着量は、測定リーク量のおよそ1/10以下が必要です。(等価標準リーク率)を正確に計測する必要があります。大漏れ測定には、推奨のグロスリークテストシステムをご利用ください。試験体の内容積は、0.1mm3以上を確保してください。測定方法・手順について・個々のワークに対する計測方法や手順は、アプリケーションノート(手順事例等)をご参照ください。・ご要望により、出張オペレーティング対応をいたしますのでご相談ください。