急速な技術革新が進む中、培ってきた技術をベースに高品質で信頼性のある製品を提供し、豊かな社会の実現に向け貢献していきます。マスフローコントローラ製品詳細マスフローメータ・マスフローコントローラ/MF5100B◆資料ダウンロードスペックシート(第6版)MF5100Bシリーズは、大幅な流量レンジ、高温度安定度、3種のモードを持つソフトスタート機能等、使いやすさと高性能を両立したマスフローメータ・マスフローコントローラです。集積化・機械系の最適化を図り、小型でありながら、高い信頼性を達成しています。0.05%/°C、リーク規格は、1×10-10Pa・m3/s(He)まで可能です。