安全性、省スペース省ランニングコストを重視した装置設計PWB-1(治具洗浄装置)設備の治具類(石英・SIC)を薬液洗浄する専用ブースです。洗浄作業を自動化することで作業者の安全を確保します。薬液槽と水洗槽を1つにまとめることで省スペース化を実現しました。薬液を回収し再利用することでランニングコストを低減します。小物部品洗浄用の専用バスケットも制作します。枚葉エッチング装置チャンバー内でウェハーを枚葉エッチング処理する装置です。2チャンバーを有し、ウェハーの並行処理が可能です。スループットの大幅短縮を実現します。上位通信機能に対応可能。CIM機能や上流装置からの製品情報により生産管理を行いヒューマンエラーを低減し生産性を向上します。お問い合わせMore。