shroud10°Cとし、それぞれ、一定に保った。4ガスが前記数2の式を満足しているのは言うまでもない。ガスの蒸気圧と温度の関係のグラフも図6に示した。mm.【0064】図9の多層構造で、黒っぽく表われている部分はゲルマニウム/シリコン混晶の薄膜、白っぽく表われている部分がシリコン結晶の薄膜の部分である。ゲルマニウム/シリコン混晶の厚さが約70オングストローム、シリコン結晶の厚さが約120オングストロームであった。4ガスの混合ガスを23秒間流した。