in.【0062】図9は、シリコン結晶とゲルマニウム/シリコン混晶との超格子膜を作成した場合で、超格子膜の断面の透過型電子顕微鏡(SEM)写真である。6ガスを一定流量で流して、成長させたものである。4ガスをそれぞれ一定流量で流して成長させたものである。このような反応ガスの供給を繰り返して多層構造とした。繰り返すだけで、界面の平らなエピタキシャル膜が得られることがわかる。obtained.【0063】この超格子膜の作成条件は次の通りである。