II製品概要お問い合わせ真空チャック方式で試料を保持します。0°,90°,180°,270°の、各面内回転位置ごとに自動スキャニングし、ピーク位置を検出します。ウェーハの切断面を基準に、X方向、Y方向の偏差角を演算し出力します。ため、人為的な測定誤差をなくすことができます。2θ設定(測定面):Si(111)、(110)、(100)、(211)、(511)試料サイズ:径φ200mmまたはφ300mmのOF、またはノッチ付ウェーハウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置です。II上記以外の製品をお問い合わせに追加する場合、下記より装置の種類をお選び下さい。タロウE-mailアドレス例)info@rigaku.co.jp(英数字半角)こちらのアドレスにお問い合わせ内容の確認メールを送らせていただきますので、お間違いのないようご入力願います。例)042-544-9795(数字半角)ご意見・ご要望(1000文字まで)その他ご意見・ご要望等がございましたら、こちらにお書き添えください。ご記入いただいた個人情報は、本件に関するお客様へのご連絡に利用させていただくことがあります。