※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。【限定5社デモ機受付中】アーク異常放電を抑制し成膜不良を激減!平均電力アップにより成膜レートを向上させた画期的なパルス電源!スパッタリングの最大の課題であるアーク異常放電を抑制する機能とHiPIMSの最大の課題である成膜レートを向上させる機能(特許取得済)を備えたHIPIMS用パルス電源です。Frequency)モードはHiPIMSの波形の後段にHFパルスを入れることでターゲットのチャージアップをキャンセルし、アークレスな成膜を実現!アーク異常放電を起こさないことにより平均電力をアップさせることができ成膜レートの向上をさせることができます。※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。Unit)■制限抵抗器(R-Unit)※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。』へのお問い合わせお問い合わせ内容をご記入ください。お問い合わせ内容あと文字入力できます。【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。会員の方はこちらイプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。メールアドレスメールアドレスに半角スペースは使用できません。メールアドレスをご入力ください。会員登録がまだの方はこちら入力したメールアドレスは既に登録されています。RESERVED.ページの先頭へ。