数10の式で表わされる条件を満たさなければならない。値は数11の式を満足していないことになる。6ガスは液体窒素シュラウドの壁面に吸着することになる。supply)について調査した。germanとも言われる。)の場合の結果を示した。一定の排気速度で排気されている真空容器1に一定の流量のガスを導入した時の圧力と、導入ガスを遮断した時の圧力変化が示してある。K)を用いたときには、内壁に吸着したガス分子がゆっくりと再放出されるため、ガスの遮断性が悪い。)とすると、どちらのガスの場合も遮断性が非常に良好である。これは内壁へのガス分子の吸着が極めて少ないためと考えられる。wall.【0059】一定の流量のガスを導入したときの圧力は、水冷シュラウドの場合、一定である。これも内壁へのガスの吸着が極めて少ないためと考えられる。液体窒素シュラウドでは、一定の圧力に達するまでに、時間を要する。かなりのガス分子が内壁に吸着する一方、ガス分子の再放出が起り、吸着と放出の平衡状態に達するまでに時間を要していると考えられる。release.【0060】図7および図8の結果から、ガスの供給流量と排気速度を一定に保ち、内壁の温度を適切な温度に保つことで、ガス切れが良く、残留ガスを高速で排気できる。その結果、成膜上良好な系を実現できることがわかる。