種電気化学システムの電極触媒として用いられている。白金の価格が高いことや資源量が限られていること、燃料電池用の電極触媒としては更に高活性の電極触媒が要求されることから、白金触媒の代替材料が望まれている。WO3、TiO2、ZrO2、PtO、Sb2O4、Sb2O3などの金属酸化物(特許文献1)、酸化ルテニウムなどの酸化物や窒化モリブデンなどの窒化物(特許文献2)を用いた電極触媒に係わる発明の出願がなされている。非特許文献1、特許文献3~5)が、これまで電極触媒としての利用は試みられてこなかった。その製造方法に関する。200°C~600°Cに加熱した状態でTa,Nb,Ti,Zrからなる弁金属の群から選択される少なくとも一つの遷移金属元素のオキシナイトライドの厚み20nm~50nmの薄膜をスパッタリング法により該担体材料表面に付着させることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の酸素還元電極触媒の製造方法。