Systems(微小電気機械システム)の頭文字からメムスと呼ばれています。)を支える必要不可欠なデバイスとして活用されています。MEMSの技術範囲として、機械要素部品、センサー、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に集積化したデバイスを指しています。他のデバイス工法上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があります。これらを組み合わせるようなハイブリッドの場合にもMEMSと言います。作りますが、立体形状や可動構造を形成するための犠牲層エッチングプロセスをも含むまでMEMSとなります。市場規模が拡大して応用分野も多岐にわたる期待は大きく、日本のものづくり産業の将来の成長に向けた「次世代産業を支える技術」の一つとして挙げられ、戦略的な取組が求められています。多様な機能を集積化した微細デバイス全般を言うようになっています。一般の半導体素子との違いは構造が立体的であり、可動部を有するという点です。MEMSの定義はあいまいな部分があり、可動構造がないDNAチップなどもMEMSと呼ばれています。MEMSの大きさは、一般には全長がmmオーダー以下で、その部品はμmオーダーが普通です。'2019.5月末に発行したMEMS市場に関するレポートによると、2018〜2023年のMEMS市場の年平均成長率は17.5%となり、2023年には310億ドルに達するという予測が示されています。MEMS(微小電子機械システム)は、自動運転実現の鍵を握る重要部品です。Ranging)は、自動運転技術には欠かせないセンサーになっています。ここにはMEMSの1つである、微小ミラーを動かして光線を制御する「マイクロミラーデバイス」をレーザー走査する方式が開発されています。MEMSの需要も増加することが期待されています。スマホの基幹部品である「RF(無線周波)フロントエンドモジュール」の根幹はMEMSです。Wave)フィルターと呼ばれています。今後もMEMS市場はこれらの他、家電、医療、バイオなど民生・産業用を中心に様々な分野で幅広い適用拡大が見込まれています。