圧空式ペントロールバルブは主に真空チャンバーとターボ分子ポンプの間に接続して、ガス流量を調整と制御しています。kg/cm2ペントロールバルブ操作:圧空式ペントロールバルブは大口径のスロートバルブとしてプロセスチャンバーとダブル分子ポンプの間に取付けている。vacuum(日揚科技)のペントロールバルブは表面処理はニケッルメッキと硬質アルマイトの2種類がある。製品の特徴は耐腐食、発塵小である。250以上で、駆動式は圧空式及びAPCの二つである。その大口径のスロートバルブはいつもゲートバルブ及びペントロールバルブに設計されている。製品は有機EL(OLED)、FPD、PV産業の製造装置に応用する。