多彩な観察方法によってスピーデイに観察対象を探し出す。●レーザー顕微鏡、SPMでそれぞれ表面粗さ測定ができ、サンプルや目的によって使い分けることができる。●ガイダンス画面に従って迷わず操作できる6つのSPM測定モードを用意。レーザー顕微鏡、プローブ顕微鏡(SPM)の一体型モデル。F50フィルメトリクス社の膜厚測定システムFシリーズは非接触式光学式。UVから近赤外までの波長で一度に高速分光し、膜厚に依存する反射波形から膜厚・光学定数を測定。ナノ~数百ミクロンの膜厚が測定可能。コンパクトな筐体、簡便なソフトウェア、長いワーキングディスタンスでインライン設置も便利。基板厚測定システム、反射率透過率を同時に測定するシステムもございます。●膜厚測定システムF2020年以上に渡って5000台以上販売しているロングセラー製品。システムF40カメラで測定箇所を確認しながら、顕微鏡光学系により最小1μmのスポット径で測定。●自動膜厚マッピングシステムF502インチ径から最大450mm径の半導体基板や、透明基板に対応。備えたマッピングシステムF54もあります。LaserTRACER-NG市場をリードする三次元測定機に多く採用されているエタロンの空間補正システム。工作機械にも導入する事で機械精度の向上はもちろん、機上ワーク計測の信頼性も高くなります。../index.html#13このブックを見る。