一対の給気ユニット41,42は、同一の構造、形状、大きさに形成されている。給気ユニット41,42には、その内部に、給気口43に連通する給気路47が形成されている。この給気路47は、それぞれ水平の上面板45および下面板46によって、その上下が区画されている。給気ユニット41,42は、クリーンルーム内のクリーンエアをフィルタによってさらに清浄化して給気するファンフィルタユニット(図示せず)から清浄空気(クリーンエア)の供給を受け、そのクリーンエアを、給気路47を介して、給気口43,44から処理チャンバ3内に供給する構成になっている。そのため、給気口43,44からは、水平方向に向けてクリーンエアが供給される。給気ユニット41は、第3内側面63と第4内側面64とによって形成される隅部に配置されている。給気ユニット42は、第1内側面61と第2内側面62とによって形成される隅部に配置されている。給気ユニット42は、スピンチャック4によるウエハWの回転軸線Cに対して、給気ユニット41の反対側に配置されている。言い換えれば、一対の給気ユニット41,42は、処理チャンバ3内で、平面視で対角位置に配置されている。給気ユニット41は、平面視で、カップ5の外壁よりも外側に位置している。給気ユニット42も、平面視で、カップ5の外壁よりも外側に位置している。給気ユニット41の給気口43からは、第4凹湾曲面69に向けて、水平方向に沿ってクリーンエアが供給される。給気ユニット41の給気口43からのクリーンエアは、平面視でカップ5の外壁の外側の領域を、第4内側面64に沿って流れる。第4凹湾曲面69に達したクリーンエアは、この第4凹湾曲面69により案内されて、平面視でカップ5の外壁の外側の領域を、第1凹湾曲面66に向けて第1内側面61に沿って流れるようになる。この第1凹湾曲面66に向けて流れるクリーンエアが第1凹湾曲面66に達すると、この第1凹湾曲面66により案内されて、平面視でカップ5の外壁の外側の領域を、第2凹湾曲面67に向けて第2内側面62に沿って流れるようになる。給気ユニット42の給気口44からは、第2凹湾曲面67に向けて、水平方向に沿ってクリーンエアが供給される。給気ユニット42の給気口44からのクリーンエアは、平面視でカップ5の外壁の外側の領域を、第2内側面62に沿って流れる。第2凹湾曲面67に達したクリーンエアは、この第2凹湾曲面67により案内されて、平面視でカップ5の外壁の外側の領域を、第3凹湾曲面68に向けて第3内側面63に沿って流れる。この第3凹湾曲面68に向けて流れるクリーンエアが第3凹湾曲面68に達すると、この第3凹湾曲面68により案内されて、平面視でカップ5の外壁の外側の領域を、第4凹湾曲面69に向けて第4内側面64に沿って流れるようになる。処理チャンバ3の底部には、処理チャンバ3内の雰囲気を吸い込んで排気するための排気部としての一対の排気ユニット51,52(図1では排気ユニット51のみ図示)が配置されている。