低圧の窒素ガス雰囲気中で炉体を陽極、製品を陰極としてグロー放電を発生させると、ネオンサインに似た柔らかい光が製品を覆います。そのイオンが持つ強いエネルギーで製品を加熱し同時に窒化を行います。プラズマ窒化(イオン窒化)装置=その特徴=1.低温真空処理のため歪量が極めて少ない。2.窒素ポテンシャルが高いので窒化層を短時間で生成できる(ガス窒化の2分の1)3.ガス比・温度・時間を調整することで窒化層の状態をコントロールできる。4.真空中での処理のため表面状態が清浄である。5.ステンレス等の歯車も酸化皮膜が炉内前処理により除去でき、均一に窒化できる。6.窒化防止は軟鋼板でカバーするだけで良い。7.金型・自動車のエンジン部品・航空機部品など耐食性の向上が可能である。