セラミックスセラミックスCeramicセラミックスとはセラミックス材料とは、無機化合物を加熱処理して焼き固めた焼結体です。弊社では、高純度スパッタリングターゲットを製造してきた技術を生かし、高純度で様々な組成のセラミックス焼結体やセラミックス粉末を製造しています。使用されるリチウム系の複合酸化物を、各種取り扱っています。LiCoO2、LiFeO2、Li2MnO3、LiFePO4、LiCoPO4、LiMnPO4、LiMn2O4、Li(NiMn)2O4、Li2NiPO4F固体電解質Li3BO3、Li3PO4、(LiLa)TiO3、Li2B4O7、Li7La3Zr2O12、Li1.5Al0.5Ge1.5P3O12負極材LiNbO3、Li2TiO3、Li4Ti5O12LiCoPO4ホウ酸リチウム、リン酸リチウム系材料の非晶質化・粉末化も可能。液相反応などの合成技術により、様々なフェライト粉末の製造を行っています。カスタム品製造も対応いたしますので、お問い合わせください。例:窒化物、フッ化物、硫化物その他様々な物質の組み合わせに対応いたします。高密度SrRuOxターゲットBSTやPZTをキャパシタとしたFeRAMが開発されていますが、これら誘電体の下部電極にSrRuOx(SRO)を使用することで、Pt電極より誘電体特性が向上することが知られています。Ptに比べプロセス中の加熱時の誘電体膜との反応による劣化が少ないことが期待されています。弊社は独自の技術で、パーティクルの発生を抑えることができ、安定な成膜が可能となる高密度SRO(SROHD)で密度90%以上のターゲットの供給を実現いたしました。