当社は化学メーカーとして長年にわたり蓄積した合成・分析技術を生かし、半導体製造工程などで排出されるガス問題に取り組み、より安全でクリーンなガスを排出できる排ガス処理装置を提供してまいりました。現在までに国内・外にて500台以上の販売実績があり、ユーザー様の工程において順調に稼動しています。当社のPFC除害装置は、分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し除害する、化学反応方式を採用した水処理不要の乾式除害装置です。水を使わない乾式システム化学分解反応方式による除害システムのため、薬液や冷却水・窒素は必要ありません。600°C以下という低温にて、PFC、SF6、NF3を高効率で分解除害処理致します。低温処理のため、省エネルギーにも貢献しています。排ガス分解を電気によるヒーティング方式により行っているため、燃料ガス及び水の使用によるCO2排出はありません。このため装置の稼動中においても環境負荷が低減されています。フッ素分の2次処理不要PFCガスの除害処理で発生するフッ素分(F)は、反応剤と反応し化合物として固定する為、フッ素分(F)の2次処理は必要ありません。必要とするユーティリティは電気(定常運転時4kW/Hr)、乾燥空気、排気のみです。反応剤が破過しましたら、自動で未使用側の反応器に切り替わる“2筒自動切替方式”ですので、連続運転が可能です。カラム交換時の装置停止も必要ありません。けの小型40L(1筒式)から、製造プロセス用途向けの100L(2筒式)高流量240L/minをラインナップ。用途に応じて幅広いラインナップからお選び頂けます。クリーンエス®PFシリーズラインナップ※写真をクリックすると、拡大画像が表示されます。4※改良により予告無く仕様を変更する事があります。反応器内の分解反応剤が破過しましたら、剤の交換(再生)を行います。剤の再生拠点は日本に2拠点あり、それぞれのエリア別に対応しております。その他、中国・台湾においても装置を販売しており、それぞれの国に再生拠点があり、対応しております。:044-520-1366この製品について問い合わせるこのページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。