サンプルを載せる回転体にスリットを彫り込む事で、排水性の向上やサンプル裏面の水切れがし易いように設計されています。材質にテフロンを採用していますので耐薬品性が高く、様々な洗浄液のスピン乾燥が可能です。カバーをテーパー形状にする事によって、飛び散る液体の跳ね返りがサンプルへ再付着するのを防止します。ボリュームつまみを回すだけの簡単操作。テーブル部脱着可能なので、メンテナンスが簡単。Φ3インチウエハ・5枚同時処理が可能です。条件データの保存が可能。回転スピード表示機能。保護カバー開閉インターロック機能。Φ3インチウエハ・5枚同時処理が可能です。条件データの保存が可能。回転スピード表示機能。保護カバー開閉インターロック機能。2本のノズルによる純水洗浄・窒素(N2)ブロー乾燥機能を追加。オート運転、5ステップ制御。5種類の条件データの保存が可能。回転スピード表示機能。保護カバー開閉インターロック機能。Φ4インチウエハ・5枚同時処理が可能です。タッチパネル操作によるオート制御。5種類の条件データの保存が可能。回転スピード表示機能。保護カバーインターロック機能。Φ6インチウエハ・4枚同時処理が可能です。タッチパネル操作によるオート制御。条件設定データの保存が可能。回転スピード表示機能。保護カバーの開閉インターロック機能付。