法は、機械的な基準面を備えた化学研磨法である。触媒基準エッチング法CAREは、触媒表面極近傍のみに存在する活性種を被加工物表面原子に作用させてエッチング(溶解)を行うものである[1]。触媒定盤表面に接触した被加工物表面凸部より選択的にエッチングが進行し、触媒と接しない凹部はエッチングされないことから、たとえエッチングの選択性を有する結晶欠陥等が存在しても、それらの影響を受けることなく平坦化される。CAREでは通常の研磨で用いられるような砥粒は用いず、表面の原子配列を乱すことなく平坦化が行われる。CARE[2]が報告されている。