株式市場では「半導体バブルにかげり」とささやかれるが、日本の装置・素材メーカーの業績は好調だ。エレクトロンが4月に発表した2019年3月期連結業績見通しは市場に驚きを与えた。最終利益予想は、過去最高だった18年3月期(前年比77・4%増の2043億円)をさらに更新する2700億円。19年3月期の売上高予想は前年比22・1%増の1兆2880億円を見込む。企業株価は、16年から顕在化したNAND(ナンド)フラッシュメモリー(20ページ参照)需要の伸びを受けて上昇を続けてきた。昨年末以降、二つのショックに見舞われた。17年11月、米モルガン・スタンレーのアナリストが「NANDの需要サイクルが下降局面に入った」として韓国サムスン電子の投資判断を引き下げた「サムスン・ショック」。(ファウンドリー)最大手の台湾TSMCが売り上げ見通しを下方修正した「TSMCショック」だ。業績不透明感が顕在化し、これらの時期には、東京エレクトロンやSUMCOなど装置・素材関連株が売られた。市場関係者の懸念を横目に、東京エレクトロンやSCREENは増産投資を予定する。素材メーカーでも、住友化学は中国で洗浄液用薬品など、大陽日酸も中国で材料ガスの製造拠点を新設する。半導体製造には主に前工程と後工程がある。前工程ではシリコンウエハーに回路を形成する(16、17ページの図1)。後工程ではウエハーからチップを切り出して配線をつなぎ、チップ保護のために樹脂などでパッケージングする(図2)。半導体の機能は、より精密で、より効率的な回路を刻むことで差別化する。このため、前工程が付加価値の源泉となる。前工程は、(1)成膜、(2)露光、(3)エッチング(回路以外の部分を除去)、(4)平坦化、の四つのプロセス(工程)がある。複雑な回路を形成するためには、ウエハーに、何回かに分けてパターンの異なる回路を刻み、層を積み重ねていく。四つの工程を何度も繰り返すのだ。最先端の半導体チップを作るためには、1~2カ月をかけて600~700の工程を繰り返す。NANDでは、容量を増やすためにメモリー素子を積層させる三次元化が加速している。積層化にも、工程増が必要だ。半導体で急速に進む高機能化によって、回路の複雑化・基板の多層化→工程増という現象が起こっているのだ。このことは、前工程の四つの工程に関する装置・素材メーカーにとっては需要増を意味する。東京エレクトロンは宮城工場で、主力のエッチング装置の生産能力を19年までに倍増するべく新棟の建設を進める。山梨や岩手の子会社でも、成膜装置やエッチング装置で総額260億円をかけて新棟を建設予定だ。同社の強みは、成膜装置やエッチング装置に加え、洗浄装置や塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)など多彩な製品群をラインアップしていることだ。半導体チップ製造工程のうち1割は洗浄だ。成膜前に洗浄、成膜の後に洗浄、エッチングの後に洗浄、といった具合だ。製造過程では、微細なゴミや、金属や薬品のかすが基板に付着する。これを取り除かないと、回路に不具合が生じるからだ。SCREENは、主力の洗浄装置について、彦根事業所に90億円を投じて新工場を建設する。日立ハイテクは、電子顕微鏡を使った検査装置の引き合いが強い。この装置は、ウエハー製造途中で回路の線幅や膜の品質などを検査する。ナノ(ナノは10億分の1)メートルレベルでの確認が必要で、回路微細化に対応した需要増と言える。半導体露光装置を手がけるキヤノンは、17年販売実績が70台だったのに対して18年は126台を見込む。露光装置では、いかに細かい回路パターンを転写できるかが差別化のポイントだ。世界の最先端技術はオランダASMLが握る。メーカーから引き合いが強い。ニコンは維持管理サービスに定評があり、中国で人気だ。素材で日本勢が存在感を示すのが、露光で使うフォトレジスト(感光剤)だ。フイルムHDの5社で世界シェアの9割を占める(電子デバイス産業新聞調べ)。感光剤には、転写する回路パターンの複雑化・微細化のために高い解像度が求められる。感光剤の中に不純物が入れば、転写回路パターンに傷が付く。これらの要望に応えるべく、材料選定・配合や不純物管理が求められる。簡単には後発企業が参入できない。世界で存在感を示す日本の素材メーカーもある。HOYAは、フォトマスクの原版「フォトマスクブランクス」で世界シェアトップだ。昭和電工は、不要な膜を除去して回路を形成する「エッチングガス」で世界シェアトップレベルを誇る。日立化成は、平坦化プロセスで使う研磨剤「CMPスラリー」のうち、酸化セリウムを使った「セリア系」で世界シェアトップだ。茨城県などの生産拠点で、30億円を投じて研磨剤の生産能力を増強する。これらの装置・素材企業が強いのは、かつて日本で半導体産業が盛んだったからだ。1990年代にはNECや東芝、日立製作所が世界上位10社に入っていた。トップメーカーに最先端の装置・素材を提供するべく、開発段階から協力してノウハウを蓄積したという一日の長がある。後工程は、ウエハーからチップを切り出すことから始まる。ディスコは切断工程装置とともに、刃などの消耗品も製造しており、装置が稼働していれば安定的に売り上げが入る。後工程関連で留意が必要なのは、前工程とは異なり、半導体高機能化の恩恵をあまり受けられないことだ。ディスコは4月、18年4~6月の連結営業利益予想を98億円(従来予想は158億円)に下方修正した。仮想通貨マイニング(採掘)向け需要の減少などが原因と見られる。後工程関連企業の業績は半導体出荷数、ひいては半導体市況には敏感だ。伸びも16~17年ほどの勢いはないにしても、中長期の成長が予想される。(月間ベース)は、90年代は100億ドル台だったが、今や300億ドルを挟んで推移している。この間、細かい落ち込みはあるが、長い目で見れば右肩上がりで成長してきたのだ。半導体市場は今後もビッグデータの増量、IoT(モノのネット化)や人工知能(AI)普及によって堅調に伸びることが予想される。17年末~18年初頭の高値圏から調整している。スパークス・グループの阿部修平社長は「半導体は第4次産業革命の基盤となる情報、自動車、エネルギーなどのあらゆる産業に関連している。今が大きな変革の初期だという認識を持たないと、半導体への見方を誤る」とした上で、割安感が出ている現在をチャンスと見て「着実に買い増していく時期だ」と分析している。(津村明宏・電子デバイス産業新聞編集長)(種市房子・編集部)◇巨大投資が続々と世界では、半導体メーカーの数千億円規模の投資が明らかになっている。米インテルは、アリゾナに70億ドル(約7700億円)をかけて、マイクロプロセッサー用の最先端工場を建設する。カメラに使われるイメージセンサーで世界トップのソニーは、全社で今後3年間に1兆円を投じる予定で、内訳について「イメージセンサーが向けが中心」と説明する。DRAMでも、韓国サムスン電子、同SKハイニックス、米マイクロン・テクノロジーの世界1~3位がそろって増強投資を計画している。特集ご意見・お問い合わせエコノミストTV「エコノミストTV」は、注目ビジネスの裏側や気鋭の経営者の思いを探るオリジナルのインターネット番組です。デモクラシータイムス・経済の深層ネットテレビ「デモクラシータイムス」の番組「経済の深層」に藤枝克治編集長はじめ編集部員が月に1~2度出演し、最新号や旬のトピックについて語ります。reserved.掲載の記事・写真・図表などの無断転載を禁止します。著作権は毎日新聞出版またはその情報提供者に属します。