以下の低エネルギー範囲と軽元素における、複雑な試料の分析に必要な卓越したエネルギー分解能を提供しています。要件よりも優れた仕様になっています。eV優れたエネルギー分解の重要さは、左の図表で描写しています。検出器で測定したSiスペクトルおよびWスペクトルの低エネルギー範囲のオーバーレイが含まれています。ラインを分離するのに、ほぼ十分であることをご留意ください。ラインは炭素汚染のピークの低エネルギー斜面で見ることができます。イメージの挿入で見られるデコンボリューション結果からこの発見を確認できます。