衛星TV受信向低雑音HEMT発売(富士通・ソニー)〜個別半導体・他〜HEMTによるマイクロ波、ミリ波低雑音増幅の可能性が1984,5年頃から国内外のいくつかの研究機関で実証されていた。IIが伝説的な存在であった。向いておらず、量産に適した結晶成長方法がもとめられていた。ソニーの田中らは、トリメチル有機金属(TMA,TMG)とアルシン(AsH3)をもちいるMOCVD法で、高電子移動度の2次元電子ガス層を有するAlGaAs/GaAsヘテロ接合結晶を成長する技術を開発した。図に示すように、厚さ10nmのアンドープAlGaAsスペーサ層をAlGaAs/GaAsヘテロ界面に導入する、あるいは、基板結晶からの結晶欠陥の伝搬を食い止めるためAlAs/GaAs超格子バッファ層を導入するなどの工夫がなされている。この結晶をもちいて、周波数12GHzで雑音指数0.8dB、利得12.5dBのHEMTを開発、商品化した。富士通の常信、羽生らは、断面がT型のセルフアライメント型のHEMTを考案し、周波数12GHzで雑音指数0.54dB、利得12.1dBの性能を実現し、商品化した。(Eutelsat)も1989年に東ヨーロッパをカバーする衛星を打ち上げるなど、衛星TV時代が到来していた。放送が受信可能になるため、大大的に使用された。1990年代になると、国内各社(東芝、NEC、三菱電機)もこの分野に参入し、現在でもマイクロ波、ミリ波帯の重要デバイスとして活躍している。2010/10/08。