ディスプレイ(FPD)メーカーによって使用され、一般に「フィルム」と呼ばれる、層のほとんどを成膜します。フィルムは、誘電体(絶縁体)または半導体(不完全導体)として機能します。2500mmサイズの基板に酸化物半導体(MO)トランジスタ用の絶縁膜を成膜します。AKT-PXファミリーは、1.6~5.7m2(第5世代~第8.5世代)のガラス基板に、均一性の高い低温ポリシリコン(LTPS)膜を成膜します。Reserved.[+]。