5.7は、最大5.7m2サイズのガラス基板上に薄膜シリコンソーラーパネルの活性層を成膜します(世界最大のモジュールサイズ)。マテリアルズのTFT-LCDディスプレイの製造装置で培われた技術が採用されています。5.7は、独立チャンバ7基を中央搬送モジュールの周囲に配置した枚葉式のクラスターツールです。専用のアモルファス成膜チャンバと微結晶成膜チャンバにより、多接合セルの光吸収層間で問題となる汚染リスクを回避することができます。Reserved.[+]。