PECVDは、優れたバリアフィルムを成膜し、フレキシブル有機EL(OLED)パネル製造を可能にします。iSystemコントローラは、他の環境要素の中で、原料消費レポートおよび温室効果ガス排出量のレポート作成のために使用可能な、貴重なデータを収集します。Mesaクリーナーはまた、効果的にスラリーを除去し、残留物の蓄積を防ぎ、パーティクルやウェーハのウォーターマークを最小限に抑えます。ALD継続的なプロセスの微細化が、デバイス性能の新境地を牽引しています。デバイスに不可欠な工程数が増加し続けている、三次元NANDやロジックFinFET製造では、ALD(原子層成長)が非常に重要です。絶縁ライナーとして機能する、高度にコンフォーマルなポリマー互換酸化物を成膜します。Reserved.[+]。