Silicona-Si最も一般的な半導体層は、アモルファスシリコン(a-Si)で作られています。アモルファスシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ(TFT-LCD)が、アクティブマトリクス方式TFT-LCDの製造において、20年以上の間、主要テクノロジーとなっています。アモルファスシリコンは、供給が豊富な低コスト材料です。TFTアレイ検査装置は、高い信頼性、短いダウンタイム、低いランニングコストを実現します。電子ビームアレイ検査装置は、複数の平行な電子ビームを使い、高速で広範囲のビーム位置決めを行い、高いスループットを達成します。Reserved.[+]。