6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100μmを出力。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。長期間にわたりメンテナンス不要。変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージPDFをダウンロード可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100μmを出力。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。長期間にわたりメンテナンス不要。変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。