(RTP)として、2012年末には世界中の工場で600台以上稼働しています。2基のチャンバで構成され、コストと占有面積を最適化するようにデザインされています。Vantageのスパイクアニール処理と熱酸化処理システムの技術は、業界をリードしています。Ownership)を提供し、同タイプのアニールに欠かせない、期待通りの生産実用性を発揮します。フラッシュトンネル酸化、ONO膜層など、重要な酸化ステップのスケーリング障壁を打破します。rpmウェーハ回転機構といった、実績のあるRadianceチャンバテクノロジーを活用しています。RTP優れた温度均一性に加えて、システムは超低温から超高温(150°C〜1300°C)までの広いプロセス範囲を提供します。Reserved.[+]。