各脱離量の関係に関して、図4(a)、(b)、(c)、図5のグラフを得た。図4図50091また、第1除去工程S2で得られたシリコンスラッジの第1処理物約200kgを炭化珪素製の容器に入れた。この容器を減圧排気および加熱可能な炉内に保持して、600°C、700°C、800°C、900°C、1000°C、1100°C、1200°C、1300°Cの各温度で保持しながら加熱した(第2除去工程S3、第3除去工程S32)。加熱開始前の加熱装置の炉内の圧力は、約20Paで安定した定常状態であった。ここで、各温度における保持時間は、装置内の圧力が、保持温度変更に伴って脱離ガスによって上昇した圧力が温度保持前の圧力よりも低くなるまでとした。ガスが揮発・脱離した。0092次に、この第2除去工程S3、第3除去工程S32を経たシリコンスラッジを一旦、炉から取り出して、シリコンスラッジの表面に付着した炭化珪素等の粉を除去した。減圧した炉内で1500°Cに加熱してシリコン融液を形成した(融解工程S4)。その後、容器の底面から冷却して、底面から開口部へ向かう方向に一方向凝固させた(凝固工程S5)。不純物が高濃度に偏析している最終凝固領域を切断除去した。これにより、太陽電池用の原料シリコンとして使用可能な純度の高いシリコン塊を得た。得られたシリコン中の炭素の濃度は約0.5質量%であった。シリコンの純度は炭素および酸素を除いて99.9999質量%以上であった。0093一方、比較例として、図6に示すように、シリコンスラッジに対して乾燥工程S1、第1除去工程S2、融解工程S4および凝固工程S5を順次行った。乾燥工程S1および第1除去工程S2の後、シリコンスラッジを第2温度で保持することなく減圧装置内でシリコン融液以上の温度まで加熱した(融解工程S4)。その結果、シリコンスラッジから脱離したガスがシリコンスラッジと反応して炭化珪素および酸化珪素の紛体が発生した。これがシリコンスラッジの表面を被覆した。このため、約1500°Cにおいてもシリコンスラッジの一部が固体状で融け残った。したがって、比較例では太陽電池原料として使用可能な再生シリコンを得ることができなかった。図60094<実施例2>上述の第1除去工程S2で得られたシリコンスラッジの第1処理物約100kgを別の炭化珪素製の容器に入れ、この容器を減圧排気可能な炉内に保持して、600°Cから1300°Cの温度範囲で、連続的に昇温させた(第2除去工程S3、第3除去工程S32)。加熱開始前の加熱装置の炉内の圧力は、約20Paで安定した定常状態であった。ここで昇温速度は、550°Cから1350°Cまでの100°Cごとの各温度範囲(550〜650、650〜750°C、750〜850°C、850〜950°C、950〜1050°C、1050〜1150°C、1150〜1250°C、1250〜1350°C)において、ガスの脱離が減少して炉内の圧力が減少に転じるまで、各温度範囲内で保持するようにすると共に、炉内の圧力が、昇温速度の変更に伴って脱離ガスによって大きく上昇しないよう、脱離ガスが多い温度域では昇温速度を小さくし、脱離ガスが少ない温度域では昇温速度を大きくするよう調整した。この時の装置内の圧力は最大約100Paを超えないよう調整した。ガスを揮発・脱離させた。実施例0095次に、この第2除去工程S3、第3除去工程S32を経たシリコンスラッジを一旦、炉から取り出して、シリコンスラッジの表面に付着した炭化珪素等の粉を除去した。その後、減圧した炉内で1500°Cに加熱してシリコン融液を形成した(融解工程S4)。その後、容器の底面から冷却して、底面から開口部へ向かう方向に一方向凝固させた(凝固工程S5)。不純物が高濃度に偏析している最終凝固領域を切断除去した。得られたシリコン中の炭素の濃度は約0.5質量%であった。シリコンの純度は炭素および酸素を除いて99.9999質量%以上であった。これにより、太陽電池用の原料シリコンとして使用可能な純度の高いシリコン塊を得た。:ワークホルダページトップへこの技術を出願した法人この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedInこの技術を発明した人物この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedInページトップへ関連する挑戦したい社会課題この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedIn化石燃料への依存のない社会を実現する石炭とウランはあと100年、石油と天然ガスはあと50年ほどで枯渇すると予測されています。2040年のエネルギー消費量は約1.3倍に増加すると予想されています。このことから、化石燃料への依...最終更新日:2018/06/18大気汚染のない社会を実現する大気汚染のない社会を実現することで、より健康的な生活を送ると同時に地球温暖化の要因をなくすことにつながります。2019/09/12)【課題】種々の屈折率のシリカ膜を容易に製造可能とする新規なシリカ膜の製造方法を提供する。