seriesLTPS(低温ポリシリコン)処理に最適なバッチ式クリーンオーブン。スペックとコストを両立したスタンダードモデル。独自のシール構造により、不活性ガスを導入し、無酸化処理が可能です。最高使用温度500°C超高温HEPAフィルターを採用し、最高使用温度500°Cを達成しました。高速化により、サイクルタイムを短縮することが出来ます。最高使用温度500°CまでのLTPS(低温ポリシリコン)処理に最適なバッチ式クリーン加熱オーブンです。20年以上にわたるロングセラーの理由は確実な処理が行えるスペックとコスト性能の両立にあります。バッチ式でありながら強制冷却機構により高スループットを実現しています。パイロット生産用装置までの紹介です。ヒートエレメント省エネ・高効率・組立の容易さを実現するモルダサームヒータと半導体用カートリッジヒータの紹介です。