(SPR)レーザーラマン分光光度計X線光電子分光装置(XPS)X線により誘起された光電子のエネルギー分析を行うことにより、その材料表面の組成や化学的結合状態を三次元的に評価することができます。本装置では空間分解能が数~10μmとこれまでこの手法では難しかった極めて微細な領域も解析することが可能となっているばかりでなく、電子やイオンビームの照射による中和機構が充実し、絶縁体材料の測定が可能となり、あらゆる材料について実際に分析できるようになりました。本装置により、プロジェクト研究で推進されている超機能化付与などの機構解明の一助とします。X線回折実験装置は、X線回折法により原子レベルの物性評価を行うことを目的とした実験装置です。高出力X線発生装置(18kW)により構成されています。単結晶(0.2mm角程度)にX線を当てると、回折現象によりX線が四方八方に散乱します。この回折X線の放出される角度と強度を精密に測定し、コンピュータで計算すると、結晶中の個々の原子の相対位置が分かります。分子の「形」を原子レベルでとらえる目的で使用されます。ヤング率の測定も1台で測定できる装置です。この装置によって、軟質から硬質までの各種の薄膜素材の評価ができます。ページの先頭へ戻るX線応力測定装置X線回折法による金属やセラミックスの残留応力測定は、他の方法と比べて非破壊で正確な測定が出来る特徴があります。(PSPC)やイメージングプレート(分解能25、50、100μm)による2次元検出器との組み合わせにより迅速に測定できます。微小部形X線応力測定装置イメージングプレート読取装置ページの先頭へ戻る3DマイクロX線CT(小動物用)X線マイクロCTは、病院で使われているX線CTスキャンと同様に、3DでX線イメージングできます。本装置の場合、マイクロフォーカスしたX線を使うことで、分解能10μmからの測定が可能となっています。蛍光X線分析法は、試料の前処理が簡単で隣り合う元素の近傍スペクトルも確実に分離できます。この波長分散型蛍光X線分析装置は、測定径500μmでB(原子番号5)~U(原子番号92)の元素範囲を定性、定量分析が行えます。ソフトウェアも充実しており、初心者でも簡単に測定できます。高倍率で鮮明に試料表面の観察・記録ができ、その形状を3Dイメージで表示させ、各種形状データ(寸法、粗さ、面積、体積など)の情報を得ることが可能です。照射角度を変えられるマルチアングル顕微鏡のため、超深度の高解像度画像を立体カラーで撮影することも可能です。装置は、数nm~数百nm径のGaイオンビームを試料に照射することによって、試料を掘削し任意の形状に加工する装置です。本装置は電子ビーム(SEM)により試料を観察することもできます。イオンビームにより任意の箇所でカーボンの化学気相成長を行うことが可能です。プラズマを利用した環境汚染物質の効率的な完全分解処理システムの開発や極限反応場としてのプラズマの特長を活かした新たな物質変換プロセスを創生することを目的とした研究で使用されるもので、プラズマ気相のみならず物質凝縮相を含めた多相反応場を総合的に解析モニタリングすることが可能です。EQPアナライザー)ページの先頭へ戻る先端材料創成装置(IBED装置)10kVのマイクロ波イオンビーム源と、2kWEB蒸着装置を備えており、同時あるいは交互動作により表層改質、製膜を行うことができます。試料は最大100mm角に対応しており角度調整が可能です。