VF-3000H高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適。各種酸化/酸窒化の連続処理が可能(Wet/Dry酸化、H2アニール、NH3窒化、NO/N2O酸窒化)チャンバークリーニング機構(オプション)ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ〜8インチまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただける縦型炉です。炉内は当社独自のメタルフリー構造です。高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適です。酸窒化処理が可能です。パイロット生産用装置までの紹介です。ヒートエレメント省エネ・高効率・組立の容易さを実現するモルダサームヒータと半導体用カートリッジヒータの紹介です。