effectué.(JA)基板搬送ロボットは、基板を載せる第1基板載せ部と第1基板載せ部に載せた基板を保持及び解放する第1基板保持機構とを含む第1ハンドを備えるロボット本体と、ロボット制御器と、を備える。ロボット制御器は、第1基板保持機構が基板を解放し、且つ、第1ハンドが、第1基板載せ部に基板を載せていない状態で後退位置から前進位置に前進し、当該前進位置において、基板載置体に載置された基板を第1基板載せ部に載せ、その後、後退位置に後退するよう第1基板保持機構及び第1ハンドを動作させ、第1ハンドが後退する期間において、第1基板載せ部に載せた基板を第1基板保持機構に保持させ、且つ第1ハンドが後退し始めてから第1基板保持機構によって基板が保持された時点までの第1期間における第1最大速度の絶対値又は第1最大加速度の絶対値が、前記基板が保持された時点から前記第1ハンドが後退を終了するまでの第2期間における第2最大速度の絶対値又は第2加速度の絶対値より低速又は低加速度であるように第1ハンドの速度を制御する。