ペリクル工程から構成されており、以下、工程順に説明します。1CADデータとフォトマスク仕様書を受け取り後、製品仕様を確認して製作を開始します。2お客様から頂いたデータは、CAD工程でパターンチェックされた後、データもしくはPDFなどの形式でお客様にて検図していただきます。3承認後、製造ラインへ進みます。レチクル・マスターなどの描画工程かコピーのプリンター工程に進みます。4プロセスでは、現像~エッチング~レジスト剥離~洗浄~乾燥までの一連の作業を行います。5パターンの寸法測定と外観検査を行います。6レチクルの一部はペリクルを貼らずに洗浄工程へ、マスターとコピーは全て洗浄工程へ進みます。7ペリクルを貼り付け、直後に異物検査をします。