Japanese)多軸駆動可能なマイクロ駆動装置(1)であって、可動対象部(3)と、前記可動対象部を軸支し1方向のみに設けられた少なくとも一対の梁(4)とを備え、前記可動対象部(3)は、前記梁(4)が有する一つ又は複数の共振周波数で共振してねじれる又は曲がることによりx軸、y軸及びz軸方向に回転又は並進することを特徴とし、構造の大型化及び構造の複雑化を同時に解消することができる、マイクロ駆動装置。Systems)は、プロジェクタの光学素子、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、圧力センサ、加速度センサ、流量センサなどの各種センサに用いられ、これらの各種センサが組み込まれたマイクロデバイスの小型化及び高性能化を図る技術の一つである。このようなマイクロデバイスの例としてMEMS光スキャナを図17に示す。図17に示すように、例えば、レーザープリンターやファイバースコープ、ヘッドマウントディスプレイ、光スイッチ等に組み込まれるMEMS光スキャナ100として、直径1mm程度のミラー101と、ミラー101を駆動するマイクロ駆動装置102とを備えているものが知られている(例えば、非特許文献1参照)。このマイクロ駆動装置102は、電磁駆動方式により2軸に駆動され、枠状の外側可動板103と、外側可動板103を回転可能に半導体基板に軸支する外側梁104と、該外側梁104と軸方向が直交し、内側可動板であるミラー101を回転可能に軸支する内側梁105とを備える2重のジンバル構造を有する駆動装置である。ここで、図17に示すマイクロ駆動装置102は、外側梁上に形成されたコイルに流した電流と外から印加される磁界とから生じるローレンツ力により、1つの梁が1つの軸を回転するように構成されている。このように2軸駆動可能(2自由度)とするために、ミラー101の外側に外側可動板103が必要となることから、駆動装置が大型化するという問題があった。自由度を追加しようとすると、外側可動板103の外側に可動板及び梁を追加する必要があり、ジンバル構造を用いるマイクロ駆動装置では駆動装置が大型化及び複雑化するという問題点を有していた。そこで、そのような問題点を解決するために、1つの梁で2軸駆動可能な圧電駆動型MEMS光スキャナが提案されている(非特許文献2参照)。この光スキャナに用いられる駆動装置は、ミラーを軸支する1つのS型梁が、共振周波数ωBによって曲りを生じ、共振周波数ωTによってねじりを生じるような構造を備えている。この駆動装置も、さらに自由度を追加した構造については考慮されておらず、この構造のままで3軸駆動可能(3自由度)以上に対応することはできない。その他のマイクロデバイスの例として、特許文献1には、長手方向の両端の片面に圧電素子の層が上下に設けられたユニモルフ構造の支持梁に接続される一対のトーションバーを有し、この一対のトーションバーにより回転振動可能に軸支されるミラーを備える1重のジンバル構造からなる1軸のマイクロミラーが提案されている。Japanese)本発明は、マイクロ駆動装置及びそれを用いたマイクロデバイスに関する。可動対象部をミラーとする超小型化ミラー駆動装置等に関する。請求項1~7いずれか1項に記載のマイクロ駆動装置を備えたことを特徴とするマイクロデバイス。