東京都Japanhttp://www.taiseigiken.com小間番号5134高機能マグネットファイバーエレメントを三次元成型したエレメントを開発し、微粒子や微液体を吸着するトラップです。(イオン注入・CVD・エッチング等々)から排気されるガス反応性生物(微粉体)を除去する装置です。イオン注入やCVD・エッチング装置から排出される1μm以下の反応生成物をうず流旋回吸着と高機能マグネットエレメントによりシャットアウトします。本装置はエレメントの圧力損失がほとんどなく、真空ポンプの前段と後段の両方に使え、既存のフィルターでは除去できない微粉体をたやすく処理する画期的な粉体トラップです。大幅なメンテナンスの工数削減と生産性の向上が約束されます。