SEMシリーズの販売・デモ・サポートマグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが出来ます。低電圧放電に加え、試料台がフローティング式なので試料の損傷がありません。コーティングチャンバーをSEM試料室に装着し、SEM本体で排気します。コーティングの厚さに応じてタイマーをセットし、スタートボタンを押すと、自動的にコーティングされます。10mm※外観、仕様は改良のため変更することがあります。SEMの標準ステージのみに対応しています。大形ステージをお使いの方は、マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。