沖野研では,超微量分析試料の高感度かつオンサイト分析を実現するため,MEMS技術を用いて,μ-TAS用のプラズマ発光光源を開発しています。本研究では,複数元素の高感度分析に向けたμ-TAS用微小プラズマ励起源のため,プラズマの放電条件を最適化できるインバータ電源の開発し,基礎特性を評価しました。放電の電圧,周波数,波形を連続的に変更する事で,励起エネルギーの異なる複数元素の高感度分析を実現します。東工大の教育に関連するWebサイトの構成です。