Sシリーズ(株)サムウエイ【Sシリーズ】は、500W〜10kWまで対応できる13.56MHzの高周波電源。E級動作により低価格化を実現。サイズは480(W)×250(H)×550(D)mm。他に6A/Hシリーズも用意。6Aシリーズは13.56/27.12/40.68MHzで、100W〜15kWまで対応。Hシリーズは自動整合器付き高周波電源で13.56/27.12/40.68MHz、300W〜10kWまで対応。・ClassD/Eを採用したオールソリッド型RF電源であるため、低消費電力かつ高い信頼性をもったRF電源です。・複数電源の同期運転が可能です。・各種ソフトウエアモジュールの追加搭載が可能です。EKOHEATアロニクス(株)【EKOHEAT】は、火炎を用いずにワークの加熱したいゾーンにのみエネルギーを集中させることができる非接触誘導加熱源である。ガスや抵抗加熱の加熱技術と比較しエネルギー使用量を著しく改善。高い電力変換効率と0.9以上の高力率を発揮し、加熱エネルギーコストの低減に大きく貢献する。独自のカップリング技術による高品質・高安定、およびD級アンプを用いて高効率(80%以上)を実現した製品で、電源−整合器間の自由なケーブル長の選定が可能。:600W、出力インピーダンス:50Ω、パルス出力:10Hz〜50kHz、および外部ロック、など。プラズマ・インピーダンスを整合し、最大の電力をプラズマ負荷に投入するために使用される。瞬時に高速連続整合が行え、約2秒以内の高速初期整合、約1%以内の高精度整合を実現。NRM06A-01(株)ノダRFテクノロジーズ【NRM06A-01】は、高周波電源と自動整合器を一体化した装置。構成部品の共通化と接続ケーブルレス化により、コストおよびフットプリントの低減を図った。ローカル制御は遠隔操作のハンディコントローラが付属され、リモート制御はアナログI/Oおよびシリアル通信が可能なため設置場所を選ばない。GNUシリーズ富士電波工機(株)【GNUシリーズ】は、電源が商用電源AC100V・デスクトップサイズなど、使い易さを考えて開発したマグネトロンを使用しない、半導体式マイクロ波電源および加熱試験装置で、周波数:2.45GHz帯・5.8GH帯・10GHz帯、出力:〜500Wをラインアップしている。従来の電熱炉などの外部加熱による加熱より、短時間で実験が行える。変更に伴い、点灯周波数アップ(従来品は30〜60KHz)、調光範囲の拡大(従来品60〜100%から40〜100%)、電力効率の向上による省エネ、軽量・コンパクト化を実現。蛍光ランプ種類は、リング(φ)、直管/ツイン/パラレル/サークル(W)。・ClassD/Eを採用したオールソリッド型RF電源であるため、低消費電力かつ高い信頼性をもったRF電源です。・複数電源の同期運転が可能です。・各種ソフトウエアモジュールの追加搭載が可能です。T161-7177A(株)サムウエイ【T161-7177A】は、10〜100MHz対応の高周波電源。Bシリーズアステック(株)【Bシリーズ】は、高周波電源とプラズマ・インピーダンスを整合し、最大の電力をプラズマ負荷に投入するために使用されるインピーダンス自動整合器。瞬時に高速連続整合が行え、約2秒以内の高速初期整合、約1%以内の高精度整合を実現。オート・プリセット、フル・リモート・コントロール、デジタル・位置メータなどの機能を装備、画像はコントローラー「RC-12」にて行っている。優れた電力増幅回路と、あらゆる反射係数、位相角によってもダメージを受けない保護機能を装備し、高信頼性を実現。EASYHEATアロニクス(株)【EASYHEAT】は、小型から中型のパーツのクイック加熱に適したコンパクトサイズの誘導加熱電源。483(W)×400(D)×133(H)mm・17.2kgと小型・軽量ながら1.2〜10kWの出力を実現。周波数は150〜400kHzと広く、CPU制御の自動周波数チューニングと幅広いタップセレクトにより、パーツサイズの変更やコイルの変更にも簡単に適応。各種薄膜利用部品のより一層の微細パターン化、多品種化に伴い、より精密で、より多彩なプラズマプロセスが要求されている。要求されるプラズマ処理の精度、スループット、再現性を得るためには、適切なプラズマ励起周波数の選定とともに波形飽和が無く、高調波の少ない安定で良質な高周波電界を与えることが重要な要素の一つとなる。より安定した発振周波数を確保。リニアライズされたパワーメータにより正確な電力が読取り可能。出力周波数はEXT、COS端子へ外部入力することで変更可能。整合器は手動、自動整合が自由に選択可能。電力増幅器を付加して構成され、12シリーズは50〜2999kHz、23シリーズは200〜999kHz、34シリーズは800〜2999kHzで出力電力も各種を用意。さまざまな要望に応じた仕様に対応。