図1図2図3図4図5図6図7図8図9--003810,30......搬送保管容器、12,32......容器本体、14,34......蓋体、16,36......吊り上げ部材、18,38......搬送用フランジ、20......半導体ウェーハ、121,321......収容空間、122,322......開口部、12A......側面、161,361......第1部分、162,362......第2部分、24......支持部材、42,48......連結部材、44,50......結合機構。ページトップへこの技術を出願した法人この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedInこの技術を発明した人物この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedInページトップへ関連する挑戦したい社会課題この情報を共有FacebookTwitterGoogle+LinkedIn手足の欠損や麻痺をおぎなう社会を実現する手足の欠損や麻痺をおぎなうことが出来ると、日本国内だけでも約200万人の対象者とその家族の生活を快適にすることができます。2019/09/12)【課題】所定位置に基板を渡したことを確実に検知することができる基板搬送装置および基板搬送方法を提供する。