1、CVD2、ETCHING3、ASHING使用上の注意1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200°Cを超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。使用上の注意1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200°Cを超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。