Informationナノインデンテーションと同時にアコースティックエミッションのモニタリングが可能TriboAEは準静的ナノインデンテーション中に発生した音波を検出・記録し、脆性材料の破壊挙動を測定するオプションです。破壊の際生じた音波を高い感度でモニタリングするために音響センサーがインデンテーション圧子に埋め込まれています。ステージに埋め込まれたセンサーの場合に認められるアーチファクトを防ぎます。TriboAEは破壊の際生じる音波の検出とナノインデンテーションの同時測定を行います。そのため、弾性ひずみエネルギーの放出により試料表面に生じる破壊現象を、荷重、変位のデータとより深く相関、考察することができます。凝集破壊を検出TriboAEは準静的ナノインデンテーションにより得られた荷重・変位のデータと材料の凝集破壊により得られる音波と同時にリアルタイムで取得できます。SPMでのin-situ表面形状イメージングとの組み合わせにより、ナノインデンテーションにより生じた円周状の破壊、放射線状の亀裂などの形態変化も把握し、識別することができます。凝集破壊に加え、音波は薄膜の層間はく離や破壊現象により生じることもあります。これらもSPMでのin-situ表面形状イメージングと組み合わせることで、はく離箇所の形態変化と音波検出結果との組み合わせ解析ができます。