超薄膜(15nm)機器の配列を含むSiMPoreウェハーの画像フィルメトリクスのレポートは、必要な情報を得るだけでなく、測定の正確性における自信を強めてくれました。新興企業は膜測定のチャレンジに遭遇SiMPore社は生物製剤及び半導体用途に超薄膜の特殊膜を開発するナノテク会社です(図1)。SiMPoreの独自の技術は膜厚の測定において難しい挑戦に面しました。"動作と収率を決定する為、膜の厚さは非常に重要です。重点を置いた初期投資の新興企業として、SiMPore社は機材を購入する資金を調達する前に、安価な厚さ測定機器を必要としていました。分光偏光解析法の限界に達する分光偏光解析法は薄膜の特性を測定する為の実証された技術ですが、ストリーマー博士はSiMPore社の超薄膜上の非常に小さいスポットサイズを測定するには不十分だと認識していました。実際の膜を測定することは出来ません。その代わりに、別のサンプルを必要とし、その結果異なる測定結果が得られる可能性がある事。多くの分光偏光解析法システムは顕微鏡を伴わないため、サンプル表面の実際に測定されている箇所を的確に把握することが困難な事。"膜上の正しい場所に焦点を当てているかどうかを的確に把握するには、測定している箇所の実際の画像が必要です。SiMPore社の社員は使用可能な実験室で分光偏光解析法システムを使用する為、出張をする必要があった事。ストリーマー博士はSiMPore社が中小企業基金、ローン、又はその他の投資資金を通じ必要な資金を受け取った時に、会社が購入できる測定システムを見つける事を望んでいました。"分光偏光解析法システムは非常に高価で、融資を受けている個々の中小企業が到底購入できるものではありません。学問の世界ではこのような機材は特別機器助成金を通じ購入され、大抵は他の研究者にも利用できる施設に置かれます。経済的な膜厚測定解決策を見つけるストリーマー博士はフィルメトリクスのF40-UVシステムと膜測定技術サポートに解決策を見出しました。"フィルメトリクス測定システムはサンプル膜に直接光を当てます。膜が完全に平らでなくても微小な箇所(33x33um)からスペクトルを容易に測定できます。"ストリーマー博士談。"現在私たちが使用している偏光解析測定は、より大きな無地の箇所を必要ととしていましたが、フィルメトリクスの測定システムにより初めて単一に分離した膜の厚さテストを直接確認できました。"この正確な測定によりSiMPore社は顧客が意図した用途に応じた膜厚の、より正確な動作情報を提供することが可能になりました。測定はフィルメトリクスの技術サービスの一環としてフィルメトリクスのエンジニアとストリーマー氏によって行われました。これらのサービスにより企業や教授に機材の購入やレンタルの必要なしに膜厚測定を行う経済的な方法を提供することが出来ます。テスト結果の画像やデータは、それぞれのプロジェクトのレポートに含まれます(図2)。"フィルメトリクスのレポートは必要な情報を得るだけでなく、測定の正確性における自信を強めてくれました。"ストリーマー博士談。フィルメトリクスのF40-UVで、ストリーマー氏は資金が利用可能になり次第SiMPore社が経済的な測定システムを購入できるということを発見しました。経済的なFM40-UVは中小企業にとっても購入が困難ではないと言えます。SiMPore社は進行中の製品開発と品質管理のため、近々フィルメトリクスの測定システムを購入する予定です。"分光偏光解析法は非常に複雑でモデル集約的なため、多くの人は使うことにためらいます。フィルメトリクスの測定システムは非常に簡単な為、技術者は皆喜んで使うでしょう。無断複写・転載を禁じます。(月-金まで24時間営業)当サイトをご利用されることにより、当社の最新のプライバシーポリシーとクッキーポリシーに同意することになります。