[Default]真空紫外光源としてのエキシマランプ・エムディコムのエキシマランプ従来の光源ではレーザなどの高価な装置を除き、真空紫外領域に強い発光が得られるものが無かった。図1に示したようにエキシマランプには200nm以下の真空紫外領域に発光するものが幾つかある。中でもキセノンのエキシマランプは石英を透過する172nm前後の光を強力に発光する為、石英を使うことによりランプの製造が比較的容易になる。このような理由から、現在最も多く使用されているエキシマランプはキセノンエキシマランプである。真空紫外を扱うには幾つかの重要なことがある。第一はこの領域はSchumann-Runge帯と呼ばれる非常に強い酸素の吸収があることである。図2に大気中の172nmの直線透過率を示す。7mm程度で1/10になる。第二は光を吸収した酸素は分解し、オゾンを形成する。大気中でランプを使用する場合はこのことを十分考慮する必要がある。オゾンは人体に有害である。従って、居所排気等が必要になる。光洗浄の場合は有機物を分解するには真空紫外光とオゾンの両方が必要と考えられている。従って、酸素を完全に除去するわけにはいかない。