ビジュアルメディアExpoOplusEOplusEは1979年の創刊以来,光エレクトロニクスと画像工学分野において高い評価を得ている技術情報誌です。室温で世界最高レベルの高品質因子(Q値)を持つダイヤモンドカンチレバーおよび世界初の電気信号による駆動と,センシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサーチップの開発に成功したと発表した。微小な梁の一端が固定されたカンチレバーと,電子回路を1つの基板上に集積化したMEMSセンサーは,ガスセンサーや質量分析装置,走査型顕微鏡プローブなどに使われている。今後,防災や医療などの分野で応用が見込まれており,感度や信頼性のさらなる向上が求められている。ダイヤモンドは,弾性定数,機械的硬度等が物質中で最高値を有する材料であり,高信頼性,高感度なMEMSセンサーの実現が期待できるが,その硬度から3次元での微細加工が困難だった。同グループは,イオンビームを用いた加工技術「スマートカット」を開発し,2010年に単結晶ダイヤモンドのカンチレバー作製に成功した。表面の欠陥などが原因で感度は既存のシリコン製のカンチレバーと同等程度であった。ことで,感度を表す品質の指標「Q値」で100万以上の値を持つダイヤモンドカンチレバーの開発に成功した。カンチレバーを振動させる回路と,振動をセンシングする電子回路を同時にカンチレバー上に集積化する新たなMEMSデバイスコンセプトを提案し,電気信号で駆動する単結晶ダイヤモンドMEMSチップの実証実験に成功した。°C)などの非常に高い性能を示した。今後,ダイヤモンド製のMEMSチップ実用化に向けた基盤技術を確立することで,単分子の質量の違いを検知できるような超高感度で,高速・小型かつ信頼性の高いセンサーなどへの展開が期待される。