根据描画数据来开/关电子束,在掩模坯料4上复制掩模图形。如图2B所示,在校正模块12中,沿线条图形101的周边进行评价点Q1~Q8的配置和边缘线段E1~E8的分割。附加具有台阶差(凹凸部)102a、102b及103a、103b的凸起(衬线)102及103。衬线102的衬线长度Xs比线条图形101的边缘线段E2、E3长,衬线宽度Ys比线条宽度W的边缘线段E1宽。衬线103的衬线长度Xt比线条图形101的边缘线段E6、E7长,衬线宽度Yt比线条宽度W的边缘线段E8宽。Xu与线条图形101的边缘线段E4、E5的长度相同,宽度Yu也与线条宽度W大致相同。