在步骤S142中,沿设计掩模图形81及85的周边配置评价点Q1、Q2、...、Q5、...、及P1、P2、...、P5、...。首先,在步骤144中,如图10B所示,调查设计掩模图形81、85的线条宽度W1、W2、及空间宽度S1。例如,设设计掩模图形81、85的线条宽度都为0.18μm,空间宽度S1为0.3μm,则衬线尺寸为(X3,Y3)。因此,在设计掩模图形81及85的边缘线段E1、E2、E3、及F1、F2、F2中,如图10C所示,附加具有凹凸部82a、82b及86a、86b的衬线82和86。92、96的前端部的第4偏差量T4、T5。在步骤149中,移动衬线82、86的边缘,使掩模图形变形。