この書籍はオンデマンド版のためご注文後納品までに1週間程度かかることがあります。配線の実用化を真剣に検討したときに,ストレスマイグレーションが深刻な問題となることを予想できた人は非常に少なかったのではないだろうか?一方,原子マイグレーションに関連する微細配線の信頼性は,ますます厳しくなるだろう。様々な産業に用いられることはほぼ間違いなく,微細金属配線のマイグレーション信頼性は永遠の技術課題として残っていく可能性が高い。このような技術段階にあることを認識すると,配線信頼性に関連する日本の技術者が,基礎知識を得た上で共通の下地を持って互いに議論するための,きちんとしたテキストの存在が重要と思われる。外国語のレビュー論文や関連テキストは多数あるが,日本語で配線における原子マイグレーションがきちんと述べられた本は殆どなかった。そこで,本書はそのようなお役に少しでも立てることを意識して,発刊されるものである。初学者や非専門の方々でも無理なく読めるように,前半にはマイグレーション問題の理解に必要な拡散現象や応力に関する基礎事項の解説が含まれている。最先端の技術者にも有益な情報をもたらすべく,ストレスマイグレーションやエレクトロマイグレーションに関しては,複数の切り口から当該分野の専門家による解説を集成した。