◎高い!検査感度:0.1μmPSL◎速い!検査速度:3分(6025サイズ)◎安い!価格:1000万~◎小さい!PCを使う感覚で操作簡単です。◎欠陥ReviewDIC顕微鏡(x1000倍)標準装備。Classify」が良否判定を行います。SiC、GaNウェハ検査、分析がすぐ始められる。「LODAS-SiC,Gan」は(シリコンカーバイト)基板用の検査装置です。エッチング工程前までのパーティクル、傷等の欠陥を検査。)各方式で同時に検査、画像確認して、欠陥種類に適した検査方式が可能です。Classify」欠陥サイズによる分類。Info『特長』http://www.lazin.jp/service.html◎高い!検査感度:0.1μmPSL◎速い!検査速度:3分(6025サイズ)◎安い!価格:1000万~◎小さい!PCを使う感覚で操作簡単です。◎欠陥ReviewDIC顕微鏡(x1000倍)標準装備。Classify」が良否判定を行います。助ける4種類のReview画像。◎メンテナンスフリー。