Instruments社の最新の終点検出システムや膜厚・深さ測定システムをご紹介いたします。今回はSD1024Gシリーズのハイエンド版のSD2048GHとローエンド版のSE1024GL、膜厚計測器のSP2100を出展しております。SD2048GHは近接ピークが干渉せず、高精度計測が可能になっております。SE1024GLは汎用アプリケーションに費用対効果の高いソリューションを提供します。リアルタイム測定システムになります。ご多忙の折とは存じますが、皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。InfoSD1024Gシリーズスペクトロメーターは、高度な機器制御、データ収集、終点検出の能力を持つように設計された高機能な組み込みプロセッサーとソフトウェアを統合した光学スペクトラムを監視する装置です。SD1024Gシリーズは共通の電子部品、アプリケーション・ソフトウェア、筐体を使用しています。SD1024Gは厳しい半導体プロセス用途に設計されています。その光学システムは、複数チャンネル分光可能な特別に設計された1024素子を持つ科学計測グレードのCCDで受光します。ダイナミックレンジ、優れた出力の直線性です。SD2048GHはSD1024Gと同様の仕様ですが、CCD受光素子が2048列あり、高分解能仕様です。末尾のHは高スループットの光学仕様を表します。スリット幅を狭くすることで0.25nm単位の計測を可能にしました。SE1024GLSD1024Gスペクトロメーターのシリーズの中でCMOSセンサを使用した低価格版になります。InfoSD1024GLと比較して、LCDの取り外しやコネクタ数の削減による簡単なパッケージング及びシンプルな構成で動作する検出器を使用してコストを削減しました。上位機種と同様にSpectraViewを使用可能です。SD1024Gスペクトロメーターのシリーズよりも48%の小型化を実現しました。膜厚計測器のSP2100は、エッチ、CVD、CMPプロセスで必要となる多様な膜厚や深さ計測のアプリケーションのために設計されています。Verity社の分光反射計測器は全世界で数百の半導体プロセス装置の制御を順調に行なっています。アプリケーション・ソフトウェアです。SP2100の心臓部は優れたダイナミックレンジ、UV検出能力、低ノイズの高感度CCD検出器を持つSD1024Gスペクトロメーターです。SD1024Gはさらに多重ファイバー入力とフラッシュランプ制御が可能です。FL2100フラッシュランプはここで説明しているアプリケーションに有用な高輝度、広帯域の光源です。FL2100の出力は強力なUV光を含むので、反射率計測器を利用する上でそれを用いなければできない薄膜の測定を可能にします。フラッシュランプを用いることで、移動ウエハーの動きがデータのボケとならないのでより正確な測定を可能にします。ホスト・アプリケーションは、多様な「公開」アルゴリズムによって安定した膜厚計測を提供します。基づく装置とアプリケーションとPC間の通信との統合を可能とします。