石英、モリブデン部品の精密洗浄は既に、通常業務として営業しております。当社ではお客様のご要望により他社より先駆けてGaN系装置の部品のドライ洗浄技術を研究開発しておりました。実験により、ドライ洗浄技術を確立し、大型チャンバーの導入を行いました。2006年3月よりサービスを開始し、SiCコートカーボン部品の洗浄を行っております。石英部品の再生もドライ洗浄で可能となり、サービスを開始いたしました。ポンプ販売コラムお知らせ。